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汕頭市澄海區(qū)、贛州市瑞金市、西安市碑林區(qū)、蕪湖市繁昌區(qū)、西安市藍(lán)田縣、廣西百色市右江區(qū)
漯河市源匯區(qū)、上海市閔行區(qū)、哈爾濱市阿城區(qū)、阿壩藏族羌族自治州金川縣、廣西南寧市隆安縣、茂名市信宜市、楚雄南華縣、金昌市永昌縣
安康市鎮(zhèn)坪縣、荊州市松滋市、齊齊哈爾市建華區(qū)、朝陽(yáng)市建平縣、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)縣
天津市津南區(qū)、吉安市青原區(qū)、韶關(guān)市曲江區(qū)、泉州市晉江市、南京市秦淮區(qū)、嘉興市海寧市
普洱市思茅區(qū)、寧夏吳忠市青銅峽市、宣城市涇縣、青島市李滄區(qū)、臺(tái)州市溫嶺市、海東市互助土族自治縣、蚌埠市龍子湖區(qū)、伊春市友好區(qū)、無(wú)錫市新吳區(qū)、臺(tái)州市黃巖區(qū)
延安市吳起縣、鶴壁市山城區(qū)、丹東市振安區(qū)、大連市瓦房店市、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、伊春市伊美區(qū)、淮安市盱眙縣、資陽(yáng)市雁江區(qū)、黔南獨(dú)山縣、陵水黎族自治縣三才鎮(zhèn)
汕頭市濠江區(qū)、宜昌市宜都市、屯昌縣烏坡鎮(zhèn)、重慶市江津區(qū)、張掖市山丹縣
平?jīng)鍪徐o寧縣、臨沂市臨沭縣、太原市清徐縣、重慶市綦江區(qū)、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、黔南羅甸縣、瓊海市長(zhǎng)坡鎮(zhèn)
天津市河西區(qū)、九江市瑞昌市、通化市東昌區(qū)、文山廣南縣、?？谑旋埲A區(qū)、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、漳州市平和縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、恩施州來(lái)鳳縣
中山市西區(qū)街道、菏澤市牡丹區(qū)、武漢市漢陽(yáng)區(qū)、吉林市蛟河市、臨沂市臨沭縣、果洛達(dá)日縣、眉山市洪雅縣
內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)、商洛市洛南縣、白銀市景泰縣、太原市晉源區(qū)、萍鄉(xiāng)市蓮花縣
銅川市宜君縣、濟(jì)南市長(zhǎng)清區(qū)、呂梁市交口縣、益陽(yáng)市資陽(yáng)區(qū)、六安市金寨縣、阜陽(yáng)市太和縣、菏澤市鄄城縣
保亭黎族苗族自治縣什玲、沈陽(yáng)市鐵西區(qū)、郴州市宜章縣、海西蒙古族格爾木市、遼源市東遼縣、廣西欽州市浦北縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市額爾古納市
內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、紅河瀘西縣、濟(jì)寧市梁山縣、信陽(yáng)市潢川縣、撫州市資溪縣、龍巖市上杭縣、恩施州利川市、海西蒙古族格爾木市、延邊敦化市
許昌市禹州市、泰安市東平縣、荊州市公安縣、宜賓市筠連縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼后旗、合肥市蜀山區(qū)、榆林市佳縣、天津市南開區(qū)、通化市輝南縣
咸陽(yáng)市三原縣、襄陽(yáng)市谷城縣、澄邁縣永發(fā)鎮(zhèn)、駐馬店市泌陽(yáng)縣、溫州市瑞安市、樂(lè)山市市中區(qū)、漢中市城固縣、杭州市下城區(qū)、菏澤市鄆城縣
郴州市嘉禾縣、郴州市臨武縣、涼山普格縣、株洲市攸縣、怒江傈僳族自治州瀘水市
南京市六合區(qū)、邵陽(yáng)市邵東市、慶陽(yáng)市正寧縣、咸陽(yáng)市永壽縣、重慶市江北區(qū)、廣西南寧市邕寧區(qū)、黔東南臺(tái)江縣、玉溪市華寧縣、郴州市資興市
白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、六安市霍邱縣、保山市隆陽(yáng)區(qū)、寧德市古田縣、西安市鄠邑區(qū)
吉林市豐滿區(qū)、廣西桂林市永福縣、瓊海市大路鎮(zhèn)、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、泉州市洛江區(qū)、韶關(guān)市南雄市、重慶市璧山區(qū)
西寧市湟中區(qū)、淮南市鳳臺(tái)縣、宜賓市江安縣、郴州市宜章縣、九江市彭澤縣、杭州市桐廬縣、沈陽(yáng)市渾南區(qū)、齊齊哈爾市克山縣、白山市靖宇縣
杭州市西湖區(qū)、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、銅陵市義安區(qū)、淮南市潘集區(qū)、深圳市鹽田區(qū)、寧夏銀川市賀蘭縣、重慶市沙坪壩區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市開魯縣
黔東南黎平縣、咸陽(yáng)市楊陵區(qū)、許昌市襄城縣、內(nèi)蒙古包頭市白云鄂博礦區(qū)、新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市、東莞市橫瀝鎮(zhèn)、涼山雷波縣
廣西梧州市岑溪市、長(zhǎng)沙市天心區(qū)、鎮(zhèn)江市潤(rùn)州區(qū)、六安市裕安區(qū)、茂名市高州市、玉樹曲麻萊縣、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市
杭州市濱江區(qū)、宜賓市江安縣、榆林市綏德縣、廣西柳州市柳北區(qū)、漢中市留壩縣、保山市騰沖市、臨汾市汾西縣、北京市密云區(qū)、黔南惠水縣、廣西崇左市天等縣
五指山市毛道、廣西南寧市馬山縣、楚雄武定縣、淮北市烈山區(qū)、東莞市石碣鎮(zhèn)、黃山市歙縣、常德市桃源縣、瓊海市陽(yáng)江鎮(zhèn)、忻州市靜樂(lè)縣、南京市建鄴區(qū)
常德市石門縣、牡丹江市海林市、徐州市新沂市、南陽(yáng)市鎮(zhèn)平縣、宜春市豐城市、金昌市金川區(qū)、淄博市高青縣、上海市松江區(qū)、宜春市奉新縣、蘭州市榆中縣
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咸陽(yáng)市涇陽(yáng)縣、馬鞍山市和縣、黃岡市團(tuán)風(fēng)縣、慶陽(yáng)市鎮(zhèn)原縣、臨沂市莒南縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、南充市蓬安縣、景德鎮(zhèn)市浮梁縣
東莞市麻涌鎮(zhèn)、株洲市炎陵縣、大同市左云縣、佳木斯市湯原縣、日照市莒縣、重慶市梁平區(qū)、雞西市雞東縣、黔東南天柱縣、邵陽(yáng)市綏寧縣、迪慶維西傈僳族自治縣
西安市蓮湖區(qū)、阜陽(yáng)市阜南縣、上海市崇明區(qū)、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、濟(jì)南市槐蔭區(qū)、宿遷市泗洪縣、呂梁市興縣、東方市四更鎮(zhèn)、焦作市孟州市、畢節(jié)市赫章縣
貴陽(yáng)市息烽縣、鄭州市金水區(qū)、文昌市東郊鎮(zhèn)、遼源市東遼縣、大連市莊河市、泉州市南安市、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、宣城市績(jī)溪縣、韶關(guān)市翁源縣、貴陽(yáng)市開陽(yáng)縣
東莞市常平鎮(zhèn)、慶陽(yáng)市西峰區(qū)、南通市如皋市、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、宜昌市宜都市、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、蘇州市吳江區(qū)、武威市民勤縣
內(nèi)江市市中區(qū)、寶雞市千陽(yáng)縣、濰坊市坊子區(qū)、雞西市滴道區(qū)、安陽(yáng)市滑縣、廣州市海珠區(qū)、德州市德城區(qū)
漳州市薌城區(qū)、德州市陵城區(qū)、東營(yíng)市河口區(qū)、哈爾濱市平房區(qū)、哈爾濱市阿城區(qū)、無(wú)錫市新吳區(qū)、徐州市云龍區(qū)、深圳市南山區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣
福州市平潭縣、深圳市福田區(qū)、三明市將樂(lè)縣、廣西南寧市橫州市、紹興市柯橋區(qū)、牡丹江市海林市、盤錦市盤山縣、襄陽(yáng)市樊城區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗
天水市麥積區(qū)、廣西梧州市長(zhǎng)洲區(qū)、九江市都昌縣、濱州市陽(yáng)信縣、棗莊市市中區(qū)、延安市吳起縣、婁底市雙峰縣
淮安市金湖縣、九江市永修縣、內(nèi)蒙古通遼市庫(kù)倫旗、孝感市大悟縣、晉城市沁水縣、武漢市武昌區(qū)
福州市閩侯縣、畢節(jié)市納雍縣、安慶市潛山市、溫州市龍灣區(qū)、新鄉(xiāng)市輝縣市、淮南市大通區(qū)
安慶市懷寧縣、七臺(tái)河市新興區(qū)、甘孜道孚縣、黔南福泉市、瓊海市龍江鎮(zhèn)、煙臺(tái)市海陽(yáng)市、吉安市遂川縣、六安市裕安區(qū)、新鄉(xiāng)市新鄉(xiāng)縣、衡陽(yáng)市蒸湘區(qū)
溫州市泰順縣、臨高縣新盈鎮(zhèn)、懷化市芷江侗族自治縣、忻州市寧武縣、廣西南寧市武鳴區(qū)、荊門市沙洋縣、阿壩藏族羌族自治州壤塘縣、岳陽(yáng)市平江縣
海西蒙古族烏蘭縣、大連市沙河口區(qū)、南陽(yáng)市淅川縣、陵水黎族自治縣英州鎮(zhèn)、綏化市綏棱縣、濟(jì)寧市梁山縣、常德市石門縣、黃南尖扎縣
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丹東市鳳城市、海西蒙古族德令哈市、濰坊市壽光市、臺(tái)州市溫嶺市、南通市崇川區(qū)、武漢市洪山區(qū)
贛州市崇義縣、撫州市黎川縣、成都市雙流區(qū)、贛州市南康區(qū)、廣西河池市天峨縣
撫州市樂(lè)安縣、慶陽(yáng)市環(huán)縣、贛州市贛縣區(qū)、懷化市會(huì)同縣、成都市崇州市
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黔南羅甸縣、揭陽(yáng)市普寧市、榆林市綏德縣、延安市吳起縣、延安市黃陵縣、屯昌縣坡心鎮(zhèn)、黔東南雷山縣、臨汾市翼城縣、江門市新會(huì)區(qū)、茂名市信宜市
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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