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懷化市鶴城區(qū)、湛江市赤坎區(qū)、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、衡陽市南岳區(qū)、涼山會理市
普洱市景谷傣族彝族自治縣、六安市金安區(qū)、白山市撫松縣、龍巖市武平縣、嘉興市海鹽縣、屯昌縣西昌鎮(zhèn)、武威市涼州區(qū)、廣西河池市金城江區(qū)、資陽市雁江區(qū)
延邊敦化市、榆林市綏德縣、平?jīng)鍪谐缧趴h、紅河建水縣、齊齊哈爾市拜泉縣、攀枝花市米易縣、哈爾濱市雙城區(qū)、鐵嶺市西豐縣、四平市雙遼市
黔東南岑鞏縣、文昌市東郊鎮(zhèn)、焦作市孟州市、臨夏臨夏縣、天水市秦安縣
東莞市鳳崗鎮(zhèn)、平頂山市葉縣、牡丹江市海林市、臺州市溫嶺市、蘭州市紅古區(qū)、南京市鼓樓區(qū)、衡陽市耒陽市、蘭州市安寧區(qū)、文昌市文城鎮(zhèn)
瓊海市嘉積鎮(zhèn)、九江市德安縣、宜賓市翠屏區(qū)、駐馬店市汝南縣、淄博市臨淄區(qū)、北京市東城區(qū)、天津市薊州區(qū)、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、廣西柳州市柳北區(qū)
三門峽市盧氏縣、忻州市靜樂縣、十堰市茅箭區(qū)、甘孜新龍縣、通化市東昌區(qū)、惠州市惠陽區(qū)、甘孜理塘縣
郴州市北湖區(qū)、贛州市瑞金市、太原市古交市、雞西市雞冠區(qū)、滁州市南譙區(qū)、淮南市八公山區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市、涼山布拖縣、文昌市東路鎮(zhèn)、梅州市平遠(yuǎn)縣
平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)、漳州市薌城區(qū)、蘇州市吳江區(qū)、遂寧市船山區(qū)、盤錦市盤山縣、岳陽市汨羅市、廣西桂林市疊彩區(qū)
文昌市馮坡鎮(zhèn)、太原市杏花嶺區(qū)、臨高縣博厚鎮(zhèn)、黔東南天柱縣、鄂州市華容區(qū)、許昌市禹州市、江門市鶴山市、吉林市磐石市、荊門市沙洋縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正藍(lán)旗
海東市樂都區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市克什克騰旗、合肥市廬江縣、紅河石屏縣、瀘州市納溪區(qū)、天津市東麗區(qū)、撫州市臨川區(qū)
萬寧市萬城鎮(zhèn)、廣元市蒼溪縣、長春市寬城區(qū)、嘉興市秀洲區(qū)、池州市石臺縣、孝感市應(yīng)城市、鹽城市東臺市、杭州市建德市、徐州市云龍區(qū)
廣西防城港市上思縣、臨沂市臨沭縣、銅仁市沿河土家族自治縣、眉山市洪雅縣、襄陽市保康縣、榆林市綏德縣、重慶市巫溪縣
哈爾濱市方正縣、宿州市埇橋區(qū)、五指山市毛道、泉州市德化縣、綿陽市涪城區(qū)、大興安嶺地區(qū)加格達(dá)奇區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、?？谑忻捞m區(qū)
鄭州市登封市、漢中市西鄉(xiāng)縣、吉安市泰和縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、紅河綠春縣
雅安市漢源縣、廣西北海市合浦縣、鞍山市立山區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、昆明市尋甸回族彝族自治縣、荊門市京山市、廣西北海市海城區(qū)、臨汾市翼城縣、本溪市溪湖區(qū)
儋州市蘭洋鎮(zhèn)、宣城市涇縣、十堰市鄖西縣、長治市屯留區(qū)、六安市舒城縣
寧德市柘榮縣、荊州市石首市、朔州市應(yīng)縣、運(yùn)城市絳縣、廣西桂林市秀峰區(qū)、徐州市云龍區(qū)、咸陽市禮泉縣、太原市迎澤區(qū)、寧夏吳忠市鹽池縣
嘉峪關(guān)市峪泉鎮(zhèn)、恩施州恩施市、三明市明溪縣、哈爾濱市巴彥縣、通化市東昌區(qū)、重慶市武隆區(qū)
朔州市山陰縣、西安市周至縣、亳州市渦陽縣、哈爾濱市尚志市、運(yùn)城市垣曲縣
伊春市湯旺縣、吉安市吉安縣、懷化市洪江市、平?jīng)鍪星f浪縣、沈陽市沈河區(qū)、蕪湖市南陵縣
大慶市大同區(qū)、焦作市溫縣、寧夏銀川市賀蘭縣、菏澤市東明縣、三亞市海棠區(qū)
鶴崗市蘿北縣、黃岡市黃梅縣、廣元市利州區(qū)、張家界市武陵源區(qū)、平頂山市寶豐縣
文昌市東郊鎮(zhèn)、濰坊市青州市、遼陽市弓長嶺區(qū)、達(dá)州市開江縣、重慶市南岸區(qū)、西寧市城西區(qū)、新余市分宜縣、連云港市連云區(qū)、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)
上饒市弋陽縣、蘭州市紅古區(qū)、武威市民勤縣、煙臺市福山區(qū)、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、濮陽市臺前縣、文山丘北縣、九江市潯陽區(qū)、忻州市保德縣
德陽市旌陽區(qū)、佳木斯市同江市、邵陽市邵東市、臨汾市永和縣、甘南瑪曲縣
紅河開遠(yuǎn)市、綏化市蘭西縣、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)、龍巖市永定區(qū)、晉中市昔陽縣、連云港市灌云縣、淮安市金湖縣
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廣西賀州市富川瑤族自治縣、白銀市靖遠(yuǎn)縣、吉林市昌邑區(qū)、黔西南晴隆縣、信陽市平橋區(qū)
臨汾市曲沃縣、儋州市排浦鎮(zhèn)、阿壩藏族羌族自治州小金縣、焦作市武陟縣、臺州市天臺縣、泰安市岱岳區(qū)、黔東南丹寨縣、安順市西秀區(qū)、上海市寶山區(qū)
東莞市石碣鎮(zhèn)、荊州市監(jiān)利市、三門峽市義馬市、長春市農(nóng)安縣、九江市潯陽區(qū)
佛山市高明區(qū)、金華市婺城區(qū)、宜春市萬載縣、臺州市溫嶺市、宜春市銅鼓縣、貴陽市花溪區(qū)、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、天津市河?xùn)|區(qū)、德州市禹城市、濟(jì)寧市嘉祥縣
益陽市安化縣、蘭州市永登縣、溫州市甌海區(qū)、廣西百色市平果市、鶴崗市興山區(qū)
成都市龍泉驛區(qū)、馬鞍山市和縣、永州市江永縣、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、德陽市什邡市
涼山會東縣、遼源市東豐縣、重慶市武隆區(qū)、寧德市蕉城區(qū)、忻州市靜樂縣、東莞市石排鎮(zhèn)、紅河瀘西縣
遵義市正安縣、青島市市北區(qū)、平頂山市寶豐縣、內(nèi)蒙古包頭市東河區(qū)、常德市武陵區(qū)、忻州市偏關(guān)縣、許昌市魏都區(qū)、屯昌縣新興鎮(zhèn)
長春市綠園區(qū)、平頂山市石龍區(qū)、廣西柳州市鹿寨縣、伊春市金林區(qū)、東營市河口區(qū)、昭通市水富市、遵義市桐梓縣、銅仁市思南縣、龍巖市新羅區(qū)、北京市大興區(qū)
廣安市岳池縣、三門峽市湖濱區(qū)、六安市霍山縣、恩施州咸豐縣、達(dá)州市開江縣
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瓊海市嘉積鎮(zhèn)、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、甘南卓尼縣、長沙市寧鄉(xiāng)市、佛山市南海區(qū)、咸寧市咸安區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運(yùn)泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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