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黔西南興仁市、昭通市鎮(zhèn)雄縣、廣西玉林市容縣、廣州市花都區(qū)、黔東南錦屏縣、長沙市瀏陽市
果洛瑪沁縣、商丘市虞城縣、雞西市恒山區(qū)、廣西河池市天峨縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、廣西來賓市興賓區(qū)、南京市玄武區(qū)、鶴崗市南山區(qū)
廣西玉林市容縣、河源市紫金縣、淮南市潘集區(qū)、德州市慶云縣、西安市長安區(qū)、樂山市馬邊彝族自治縣、嘉興市嘉善縣、佳木斯市前進區(qū)、海南貴德縣、濟寧市任城區(qū)
太原市晉源區(qū)、延邊汪清縣、南通市如皋市、孝感市孝南區(qū)、東營市廣饒縣、內(nèi)蒙古通遼市庫倫旗、焦作市博愛縣、周口市項城市、平?jīng)鍪徐o寧縣
重慶市秀山縣、文昌市東郊鎮(zhèn)、南昌市安義縣、濟南市歷下區(qū)、福州市倉山區(qū)、中山市港口鎮(zhèn)
大興安嶺地區(qū)塔河縣、杭州市富陽區(qū)、伊春市嘉蔭縣、巴中市通江縣、漳州市龍文區(qū)、甘孜巴塘縣、哈爾濱市道里區(qū)、蕪湖市弋江區(qū)、平頂山市汝州市、泉州市德化縣
南平市浦城縣、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)、宜昌市宜都市、恩施州建始縣、太原市婁煩縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、廣西欽州市欽北區(qū)、廣西柳州市柳城縣
肇慶市高要區(qū)、洛陽市洛龍區(qū)、臨沂市莒南縣、武漢市青山區(qū)、黔東南凱里市、安順市普定縣、懷化市通道侗族自治縣、玉樹雜多縣
臨汾市汾西縣、昆明市尋甸回族彝族自治縣、銅川市宜君縣、湖州市南潯區(qū)、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、果洛達日縣、甘南迭部縣
新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)、昆明市晉寧區(qū)、錦州市凌河區(qū)、揚州市寶應縣、滁州市鳳陽縣、長沙市瀏陽市
安康市鎮(zhèn)坪縣、武威市民勤縣、昭通市昭陽區(qū)、廣安市華鎣市、大理南澗彝族自治縣、牡丹江市東寧市、揭陽市惠來縣、海北海晏縣
溫州市洞頭區(qū)、蘇州市虎丘區(qū)、衡陽市常寧市、成都市武侯區(qū)、鄂州市華容區(qū)
達州市達川區(qū)、遼陽市文圣區(qū)、東方市新龍鎮(zhèn)、撫州市黎川縣、煙臺市龍口市、廣安市華鎣市、臨沂市沂南縣、鎮(zhèn)江市潤州區(qū)、東莞市大朗鎮(zhèn)、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)
金華市東陽市、六安市金寨縣、白城市洮南市、廣西百色市田東縣、武威市古浪縣、東莞市萬江街道
白銀市會寧縣、懷化市靖州苗族侗族自治縣、撫州市金溪縣、郴州市資興市、咸陽市渭城區(qū)、湛江市徐聞縣、成都市彭州市、泉州市永春縣
樂東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、荊門市東寶區(qū)、四平市雙遼市、曲靖市師宗縣、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、杭州市江干區(qū)
紹興市上虞區(qū)、沈陽市于洪區(qū)、九江市都昌縣、岳陽市湘陰縣、黔南長順縣、六盤水市六枝特區(qū)
上饒市余干縣、遂寧市安居區(qū)、湘西州古丈縣、三明市建寧縣、金昌市永昌縣、宜昌市宜都市、黃岡市武穴市、綏化市安達市
重慶市云陽縣、白山市靖宇縣、滁州市明光市、杭州市建德市、內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、文昌市翁田鎮(zhèn)、朝陽市朝陽縣、三門峽市盧氏縣、廣西桂林市秀峰區(qū)
長春市德惠市、濱州市無棣縣、新鄉(xiāng)市新鄉(xiāng)縣、廣西柳州市柳南區(qū)、黑河市嫩江市
常德市臨澧縣、漯河市源匯區(qū)、廣西桂林市興安縣、汕頭市金平區(qū)、臨滄市臨翔區(qū)、安慶市大觀區(qū)
葫蘆島市建昌縣、內(nèi)蒙古通遼市開魯縣、西雙版納景洪市、綏化市望奎縣、三明市沙縣區(qū)、遼源市東遼縣、湘西州永順縣、上海市徐匯區(qū)、東莞市樟木頭鎮(zhèn)
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廣西柳州市鹿寨縣、溫州市甌海區(qū)、濮陽市濮陽縣、衢州市衢江區(qū)、中山市東鳳鎮(zhèn)、撫順市順城區(qū)、西安市雁塔區(qū)
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珠海突圍半導體設備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設計業(yè)“一業(yè)獨大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設備，標志著國內(nèi)高端半導體制造核心裝備領域的重大技術突破。
該設備突破了多項“卡脖子”技術難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應用于集成電路、第三代半導體及先進封裝領域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設備在顯示領域的規(guī)?；瘧?；另一家為三疊紀公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應用。預計6月會交付第一臺設備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設備已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務為等離子體工業(yè)應用設備相關領域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領域，包括PCB/載板領域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領域和半導體領域。
公司方面表示，最早專注于PCB設備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導體裝備領域轉(zhuǎn)型的關鍵一步，近年來瞄準半導體裝備賽道，聚焦刻蝕設備核心技術研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導體制造環(huán)節(jié)跟制程精細程度息息相關，因此跟制程相關的設備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝里，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關鍵的三大設備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應用材料（16.96%）三巨頭主導。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設備企業(yè)加速核心技術突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導體材料，刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導體設備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學檢測設備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當前珠海正提速建設“云上智城”，集聚算力基礎、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設計服務平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標客戶中，AI業(yè)務都有所增加，也對技術提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構可能并不適合于做大模型的預算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復雜?！秉S道遠表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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