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金華市磐安縣、淮安市洪澤區(qū)、郴州市宜章縣、澄邁縣金江鎮(zhèn)、黔南貴定縣
漳州市龍海區(qū)、銅仁市石阡縣、鄭州市管城回族區(qū)、開封市龍亭區(qū)、肇慶市鼎湖區(qū)、南昌市南昌縣
萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、長(zhǎng)治市沁源縣、上海市浦東新區(qū)、煙臺(tái)市招遠(yuǎn)市、黔東南錦屏縣、哈爾濱市香坊區(qū)、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、南陽(yáng)市桐柏縣
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甘孜石渠縣、常德市津市市、萬(wàn)寧市長(zhǎng)豐鎮(zhèn)、雞西市雞東縣、永州市江華瑤族自治縣、南昌市西湖區(qū)、蘭州市永登縣、廣西貴港市覃塘區(qū)
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延安市志丹縣、贛州市瑞金市、衡陽(yáng)市衡山縣、上海市嘉定區(qū)、廣西百色市德保縣
榆林市子洲縣、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、寶雞市金臺(tái)區(qū)、嘉興市海寧市、玉樹雜多縣
樂(lè)山市夾江縣、咸陽(yáng)市秦都區(qū)、大理鶴慶縣、中山市古鎮(zhèn)鎮(zhèn)、五指山市水滿、運(yùn)城市聞喜縣、荊門市沙洋縣、黃山市徽州區(qū)、荊州市公安縣
本溪市桓仁滿族自治縣、清遠(yuǎn)市佛岡縣、開封市龍亭區(qū)、綿陽(yáng)市北川羌族自治縣、黃石市大冶市、天津市和平區(qū)
株洲市淥口區(qū)、四平市鐵西區(qū)、忻州市五寨縣、盤錦市盤山縣、黃石市黃石港區(qū)、昭通市昭陽(yáng)區(qū)、東方市感城鎮(zhèn)、三明市建寧縣、天津市津南區(qū)、嘉興市嘉善縣
三門峽市湖濱區(qū)、廣西玉林市興業(yè)縣、清遠(yuǎn)市連州市、重慶市忠縣、蚌埠市淮上區(qū)、巴中市南江縣、成都市金牛區(qū)、忻州市寧武縣
長(zhǎng)沙市開福區(qū)、安陽(yáng)市內(nèi)黃縣、隴南市禮縣、廣西桂林市平樂(lè)縣、渭南市臨渭區(qū)、洛陽(yáng)市偃師區(qū)、黔東南岑鞏縣
銅仁市沿河土家族自治縣、內(nèi)蒙古興安盟扎賚特旗、西寧市湟中區(qū)、臨汾市洪洞縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼中旗、九江市廬山市、襄陽(yáng)市棗陽(yáng)市
安慶市桐城市、廣州市從化區(qū)、襄陽(yáng)市老河口市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、莆田市城廂區(qū)、中山市南區(qū)街道
呂梁市臨縣、郴州市安仁縣、南平市松溪縣、撫順市望花區(qū)、成都市青白江區(qū)、巴中市南江縣、廣西河池市金城江區(qū)、杭州市濱江區(qū)、鎮(zhèn)江市丹陽(yáng)市
岳陽(yáng)市云溪區(qū)、珠海市香洲區(qū)、九江市修水縣、長(zhǎng)沙市望城區(qū)、玉溪市峨山彝族自治縣、鞍山市鐵東區(qū)、廣州市南沙區(qū)
白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)、寶雞市陳倉(cāng)區(qū)、本溪市桓仁滿族自治縣、駐馬店市泌陽(yáng)縣、漢中市城固縣、上海市金山區(qū)、滁州市瑯琊區(qū)、新余市渝水區(qū)
泉州市金門縣、重慶市北碚區(qū)、郴州市桂陽(yáng)縣、自貢市榮縣、天水市張家川回族自治縣、蘭州市紅古區(qū)、定安縣翰林鎮(zhèn)、廣西桂林市疊彩區(qū)、泉州市石獅市
錦州市太和區(qū)、文昌市潭牛鎮(zhèn)、嘉興市秀洲區(qū)、澄邁縣金江鎮(zhèn)、寧夏吳忠市利通區(qū)、揚(yáng)州市高郵市、武漢市青山區(qū)、畢節(jié)市金沙縣、甘孜甘孜縣、長(zhǎng)治市潞城區(qū)
阿壩藏族羌族自治州紅原縣、贛州市瑞金市、哈爾濱市通河縣、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、寧德市壽寧縣、商丘市夏邑縣、上饒市玉山縣
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常德市臨澧縣、麗水市慶元縣、濮陽(yáng)市清豐縣、撫州市崇仁縣、紹興市諸暨市、中山市石岐街道、重慶市酉陽(yáng)縣、清遠(yuǎn)市佛岡縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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