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贛州市大余縣、衡陽市衡陽縣、天津市寶坻區(qū)、宣城市郎溪縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、南京市建鄴區(qū)
臨汾市曲沃縣、儋州市排浦鎮(zhèn)、阿壩藏族羌族自治州小金縣、焦作市武陟縣、臺(tái)州市天臺(tái)縣、泰安市岱岳區(qū)、黔東南丹寨縣、安順市西秀區(qū)、上海市寶山區(qū)
潮州市潮安區(qū)、泰州市興化市、大同市天鎮(zhèn)縣、隴南市宕昌縣、運(yùn)城市芮城縣、畢節(jié)市黔西市
陵水黎族自治縣椰林鎮(zhèn)、晉中市祁縣、瀘州市古藺縣、重慶市渝北區(qū)、許昌市魏都區(qū)、四平市梨樹縣、馬鞍山市雨山區(qū)
肇慶市高要區(qū)、萬寧市山根鎮(zhèn)、楚雄楚雄市、濰坊市青州市、延安市寶塔區(qū)、廣西來賓市忻城縣、成都市武侯區(qū)
廣安市鄰水縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、雞西市滴道區(qū)、廣西賀州市平桂區(qū)、黃石市下陸區(qū)、天津市南開區(qū)、陵水黎族自治縣英州鎮(zhèn)
廣西百色市田陽區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、黔東南雷山縣、涼山鹽源縣、文昌市翁田鎮(zhèn)、屯昌縣楓木鎮(zhèn)
東莞市石龍鎮(zhèn)、牡丹江市東安區(qū)、青島市市南區(qū)、汕頭市潮南區(qū)、紹興市越城區(qū)、廣安市鄰水縣、齊齊哈爾市富裕縣
茂名市茂南區(qū)、萬寧市禮紀(jì)鎮(zhèn)、肇慶市端州區(qū)、重慶市綦江區(qū)、吉安市吉水縣、安慶市迎江區(qū)、達(dá)州市宣漢縣、渭南市臨渭區(qū)
六安市金寨縣、肇慶市廣寧縣、煙臺(tái)市牟平區(qū)、保山市龍陵縣、眉山市丹棱縣、開封市尉氏縣、鄭州市惠濟(jì)區(qū)
晉中市左權(quán)縣、太原市杏花嶺區(qū)、周口市鹿邑縣、荊州市洪湖市、杭州市上城區(qū)、營口市老邊區(qū)、商洛市洛南縣、酒泉市敦煌市、南京市溧水區(qū)
揚(yáng)州市儀征市、汕尾市城區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、樂山市井研縣、濰坊市安丘市、宜昌市興山縣、宜春市奉新縣、廣州市南沙區(qū)
東方市天安鄉(xiāng)、德州市夏津縣、忻州市偏關(guān)縣、吉安市安?？h、貴陽市清鎮(zhèn)市
延安市甘泉縣、德陽市綿竹市、雅安市蘆山縣、杭州市濱江區(qū)、黔東南黃平縣、廣西百色市平果市、瀘州市合江縣
錦州市太和區(qū)、南充市營山縣、上海市長寧區(qū)、廣西貴港市桂平市、大連市莊河市
呂梁市孝義市、濮陽市南樂縣、中山市三角鎮(zhèn)、泉州市洛江區(qū)、襄陽市棗陽市
鄭州市上街區(qū)、青島市平度市、榆林市神木市、?？谑协偵絽^(qū)、沈陽市渾南區(qū)、重慶市九龍坡區(qū)、涼山喜德縣
成都市雙流區(qū)、鄂州市梁子湖區(qū)、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、儋州市排浦鎮(zhèn)、玉樹囊謙縣、青島市城陽區(qū)、駐馬店市新蔡縣、金華市婺城區(qū)、黑河市遜克縣、哈爾濱市道里區(qū)
肇慶市高要區(qū)、濟(jì)寧市嘉祥縣、云浮市羅定市、瓊海市會(huì)山鎮(zhèn)、永州市新田縣、淄博市周村區(qū)、湘西州古丈縣、佳木斯市樺南縣、寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)
天水市秦州區(qū)、廣元市利州區(qū)、淮南市謝家集區(qū)、長春市綠園區(qū)、長沙市雨花區(qū)、黃山市歙縣、臨高縣南寶鎮(zhèn)、忻州市五臺(tái)縣
玉溪市峨山彝族自治縣、東莞市高埗鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市東勝區(qū)、上海市普陀區(qū)、濟(jì)南市歷下區(qū)、揭陽市普寧市、宿州市泗縣、棗莊市嶧城區(qū)
衢州市開化縣、東莞市塘廈鎮(zhèn)、攀枝花市東區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、揚(yáng)州市儀征市、海西蒙古族都蘭縣
玉樹雜多縣、文山富寧縣、甘南迭部縣、普洱市江城哈尼族彝族自治縣、漯河市舞陽縣
東莞市南城街道、福州市福清市、長春市二道區(qū)、鶴崗市東山區(qū)、九江市武寧縣、濮陽市華龍區(qū)、邵陽市綏寧縣、重慶市忠縣、湘西州古丈縣、信陽市息縣
銅川市耀州區(qū)、阜陽市潁州區(qū)、榆林市神木市、三門峽市澠池縣、許昌市魏都區(qū)、文昌市潭牛鎮(zhèn)
南平市建陽區(qū)、天津市西青區(qū)、錦州市北鎮(zhèn)市、東莞市寮步鎮(zhèn)、晉中市祁縣、重慶市銅梁區(qū)、綿陽市梓潼縣
信陽市羅山縣、東莞市大嶺山鎮(zhèn)、六盤水市盤州市、鎮(zhèn)江市丹陽市、阿壩藏族羌族自治州理縣、黔南都勻市、福州市鼓樓區(qū)
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自貢市大安區(qū)、寶雞市渭濱區(qū)、婁底市冷水江市、麗水市縉云縣、襄陽市棗陽市、廣西賀州市平桂區(qū)、南充市西充縣、東方市大田鎮(zhèn)、澄邁縣老城鎮(zhèn)、甘孜色達(dá)縣
蘇州市吳中區(qū)、海西蒙古族格爾木市、呂梁市柳林縣、鹽城市射陽縣、宜昌市長陽土家族自治縣
南充市營山縣、綏化市蘭西縣、東莞市寮步鎮(zhèn)、定安縣富文鎮(zhèn)、信陽市平橋區(qū)、莆田市仙游縣、晉城市高平市、廣西賀州市昭平縣、海西蒙古族茫崖市、淮南市鳳臺(tái)縣
洛陽市欒川縣、商丘市虞城縣、瓊海市石壁鎮(zhèn)、蘭州市七里河區(qū)、合肥市巢湖市、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)、雅安市寶興縣、宜昌市猇亭區(qū)、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣、瀘州市納溪區(qū)
廣西玉林市玉州區(qū)、攀枝花市西區(qū)、湘潭市湘鄉(xiāng)市、萬寧市龍滾鎮(zhèn)、澄邁縣加樂鎮(zhèn)
儋州市木棠鎮(zhèn)、汕頭市潮陽區(qū)、肇慶市廣寧縣、鞍山市鐵東區(qū)、開封市通許縣、廣西玉林市福綿區(qū)、常州市鐘樓區(qū)、十堰市竹山縣
臨汾市鄉(xiāng)寧縣、九江市共青城市、遼源市東豐縣、東方市新龍鎮(zhèn)、寧德市柘榮縣、威海市乳山市、吉林市船營區(qū)、鄭州市二七區(qū)、成都市邛崍市、青島市城陽區(qū)
撫州市黎川縣、重慶市南岸區(qū)、成都市彭州市、廈門市集美區(qū)、無錫市新吳區(qū)、臨汾市隰縣
臺(tái)州市玉環(huán)市、寧德市柘榮縣、廣州市天河區(qū)、雞西市雞東縣、自貢市榮縣、清遠(yuǎn)市陽山縣
菏澤市鄆城縣、永州市雙牌縣、涼山寧南縣、遵義市綏陽縣、棗莊市臺(tái)兒莊區(qū)、銅仁市松桃苗族自治縣、成都市金堂縣、海西蒙古族格爾木市、廣西南寧市良慶區(qū)
湛江市坡頭區(qū)、潮州市饒平縣、韶關(guān)市樂昌市、阜新市阜新蒙古族自治縣、佛山市順德區(qū)、焦作市修武縣、懷化市會(huì)同縣、大慶市讓胡路區(qū)
黔南甕安縣、撫州市宜黃縣、運(yùn)城市聞喜縣、商洛市洛南縣、哈爾濱市南崗區(qū)
廣西來賓市武宣縣、臨高縣加來鎮(zhèn)、廣安市廣安區(qū)、杭州市余杭區(qū)、陽江市陽東區(qū)、孝感市孝昌縣、蕪湖市南陵縣、青島市市北區(qū)、廣元市朝天區(qū)
泉州市鯉城區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、汕尾市海豐縣、揭陽市惠來縣、漢中市勉縣、樂東黎族自治縣利國鎮(zhèn)
哈爾濱市依蘭縣、德州市慶云縣、蚌埠市蚌山區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市東勝區(qū)、朝陽市凌源市、寧波市鄞州區(qū)、德陽市什邡市、雅安市雨城區(qū)、成都市蒲江縣、臨高縣新盈鎮(zhèn)
駐馬店市泌陽縣、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、慶陽市環(huán)縣、本溪市溪湖區(qū)、晉中市左權(quán)縣、安順市平壩區(qū)、安陽市林州市、大理云龍縣、萬寧市三更羅鎮(zhèn)
忻州市岢嵐縣、岳陽市湘陰縣、南昌市灣里區(qū)、邵陽市新邵縣、麗江市華坪縣、岳陽市汨羅市、西安市鄠邑區(qū)、重慶市梁平區(qū)
南平市邵武市、文山廣南縣、湛江市吳川市、蘇州市吳江區(qū)、寧波市奉化區(qū)、鹽城市鹽都區(qū)、安陽市湯陰縣、直轄縣仙桃市、雞西市梨樹區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市涼城縣
黑河市愛輝區(qū)、大同市渾源縣、福州市閩侯縣、錦州市古塔區(qū)、重慶市榮昌區(qū)
南平市建甌市、中山市南頭鎮(zhèn)、濟(jì)寧市微山縣、湘潭市湘潭縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟太仆寺旗
三明市三元區(qū)、隨州市隨縣、西安市長安區(qū)、寧夏吳忠市青銅峽市、四平市鐵西區(qū)、徐州市銅山區(qū)、福州市福清市、湛江市廉江市、雞西市城子河區(qū)、臺(tái)州市黃巖區(qū)
錦州市凌河區(qū)、臨沂市沂水縣、長治市平順縣、銅仁市碧江區(qū)、樂東黎族自治縣萬沖鎮(zhèn)、黔南獨(dú)山縣、江門市鶴山市、北京市西城區(qū)、三亞市崖州區(qū)、鹽城市亭湖區(qū)
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咸陽市長武縣、張掖市山丹縣、寶雞市渭濱區(qū)、玉溪市新平彝族傣族自治縣、上饒市信州區(qū)、鐵嶺市昌圖縣、開封市鼓樓區(qū)、周口市西華縣、洛陽市偃師區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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