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韶關(guān)市南雄市、長治市上黨區(qū)、寧夏吳忠市同心縣、儋州市雅星鎮(zhèn)、晉中市太谷區(qū)、株洲市炎陵縣、阿壩藏族羌族自治州紅原縣、淄博市張店區(qū)、黑河市北安市、煙臺市牟平區(qū)
臨滄市耿馬傣族佤族自治縣、蚌埠市懷遠縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、延邊龍井市、哈爾濱市阿城區(qū)
巴中市通江縣、濟南市章丘區(qū)、文山富寧縣、西寧市大通回族土族自治縣、張掖市民樂縣
甘南合作市、贛州市上猶縣、忻州市保德縣、綿陽市安州區(qū)、汕頭市濠江區(qū)、馬鞍山市含山縣、廣西桂林市秀峰區(qū)
濱州市惠民縣、滁州市全椒縣、廣西南寧市橫州市、晉城市城區(qū)、廣元市利州區(qū)、廣西桂林市靈川縣、宜賓市翠屏區(qū)、湛江市遂溪縣
湛江市廉江市、臨高縣加來鎮(zhèn)、長治市黎城縣、漢中市略陽縣、十堰市竹溪縣、菏澤市巨野縣、廣西桂林市恭城瑤族自治縣、定西市渭源縣
漯河市舞陽縣、長治市潞州區(qū)、宜賓市翠屏區(qū)、廣西欽州市欽北區(qū)、恩施州恩施市
攀枝花市米易縣、臨夏和政縣、杭州市淳安縣、瓊海市會山鎮(zhèn)、鞍山市海城市、贛州市信豐縣
廣西南寧市青秀區(qū)、三明市泰寧縣、黃岡市麻城市、黃南同仁市、三明市將樂縣、南陽市南召縣、溫州市蒼南縣、榆林市定邊縣、陵水黎族自治縣椰林鎮(zhèn)
德宏傣族景頗族自治州芒市、甘孜九龍縣、瀘州市合江縣、梅州市豐順縣、駐馬店市泌陽縣、廣西玉林市興業(yè)縣、周口市鄲城縣
韶關(guān)市始興縣、文山西疇縣、伊春市友好區(qū)、衡陽市衡東縣、忻州市定襄縣、廣西崇左市天等縣
南京市六合區(qū)、邵陽市邵東市、慶陽市正寧縣、咸陽市永壽縣、重慶市江北區(qū)、廣西南寧市邕寧區(qū)、黔東南臺江縣、玉溪市華寧縣、郴州市資興市
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市五原縣、龍巖市武平縣、天津市南開區(qū)、聊城市東阿縣、西寧市城東區(qū)、信陽市商城縣
內(nèi)蒙古烏蘭察布市商都縣、長治市武鄉(xiāng)縣、珠海市斗門區(qū)、湘西州吉首市、麗水市云和縣、朝陽市雙塔區(qū)
榆林市吳堡縣、眉山市仁壽縣、駐馬店市西平縣、廣西來賓市金秀瑤族自治縣、中山市中山港街道、樂山市夾江縣、寧波市余姚市、西安市蓮湖區(qū)
阜新市彰武縣、安陽市北關(guān)區(qū)、齊齊哈爾市泰來縣、遼陽市文圣區(qū)、鷹潭市月湖區(qū)
黑河市北安市、廣西百色市靖西市、丹東市寬甸滿族自治縣、晉中市平遙縣、運城市芮城縣、駐馬店市新蔡縣、廣安市岳池縣、安陽市湯陰縣、龍巖市漳平市、十堰市房縣
平頂山市魯山縣、朝陽市北票市、信陽市息縣、成都市蒲江縣、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)
梅州市五華縣、徐州市沛縣、楚雄永仁縣、聊城市東阿縣、河源市源城區(qū)、廣西河池市金城江區(qū)、晉城市陽城縣、麗江市華坪縣、平?jīng)鍪腥A亭縣、玉樹治多縣
中山市南朗鎮(zhèn)、廣西桂林市全州縣、贛州市大余縣、德陽市什邡市、直轄縣潛江市、哈爾濱市南崗區(qū)
惠州市惠陽區(qū)、海南同德縣、江門市臺山市、九江市共青城市、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、麗水市云和縣、武漢市硚口區(qū)
南充市閬中市、北京市朝陽區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、東莞市東城街道、平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)、贛州市尋烏縣、遼陽市弓長嶺區(qū)
天津市東麗區(qū)、黔南貴定縣、宜昌市當(dāng)陽市、漢中市西鄉(xiāng)縣、東莞市高埗鎮(zhèn)、東莞市東坑鎮(zhèn)
寶雞市麟游縣、延安市宜川縣、廣西來賓市興賓區(qū)、三沙市南沙區(qū)、紅河蒙自市、綏化市北林區(qū)、忻州市五臺縣、孝感市大悟縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗
龍巖市漳平市、昆明市安寧市、濟南市歷下區(qū)、廣西柳州市柳江區(qū)、溫州市洞頭區(qū)、鷹潭市貴溪市、濟南市長清區(qū)、婁底市新化縣、濱州市鄒平市、青島市李滄區(qū)
六安市裕安區(qū)、合肥市巢湖市、宜賓市珙縣、涼山布拖縣、吉林市蛟河市、廣西桂林市永??h、宜春市銅鼓縣、南京市溧水區(qū)、哈爾濱市道外區(qū)、福州市臺江區(qū)
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內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正藍旗、松原市乾安縣、臨沂市蘭陵縣、大理鶴慶縣、青島市市南區(qū)、重慶市萬州區(qū)、四平市伊通滿族自治縣、海東市樂都區(qū)
莆田市城廂區(qū)、重慶市萬州區(qū)、成都市都江堰市、宿遷市泗陽縣、鶴崗市東山區(qū)、武漢市東西湖區(qū)、煙臺市福山區(qū)、寧波市慈溪市、隴南市康縣
鹽城市大豐區(qū)、臨高縣多文鎮(zhèn)、定安縣龍湖鎮(zhèn)、四平市鐵東區(qū)、六盤水市盤州市、寧夏銀川市靈武市、廣安市岳池縣、蚌埠市禹會區(qū)、太原市陽曲縣、玉樹玉樹市
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大連市旅順口區(qū)、晉城市澤州縣、臨汾市霍州市、寧德市古田縣、煙臺市棲霞市、蘭州市西固區(qū)、許昌市魏都區(qū)、梅州市梅江區(qū)、株洲市炎陵縣
佛山市高明區(qū)、金華市婺城區(qū)、宜春市萬載縣、臺州市溫嶺市、宜春市銅鼓縣、貴陽市花溪區(qū)、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、天津市河?xùn)|區(qū)、德州市禹城市、濟寧市嘉祥縣
佳木斯市樺南縣、南京市棲霞區(qū)、贛州市信豐縣、南京市建鄴區(qū)、淮南市鳳臺縣
大慶市讓胡路區(qū)、涼山甘洛縣、濟寧市微山縣、泰州市靖江市、江門市新會區(qū)、遼源市東遼縣、寶雞市扶風(fēng)縣、海西蒙古族天峻縣
齊齊哈爾市克山縣、迪慶香格里拉市、吉安市安福縣、西寧市湟源縣、寧波市北侖區(qū)、棗莊市嶧城區(qū)、廣西河池市大化瑤族自治縣、荊州市石首市
平?jīng)鍪徐o寧縣、臨沂市臨沭縣、太原市清徐縣、重慶市綦江區(qū)、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、黔南羅甸縣、瓊海市長坡鎮(zhèn)
清遠市連山壯族瑤族自治縣、漳州市薌城區(qū)、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、晉中市榆次區(qū)、渭南市韓城市、樂東黎族自治縣萬沖鎮(zhèn)、焦作市溫縣、延邊安圖縣
福州市閩侯縣、牡丹江市綏芬河市、涼山德昌縣、涼山會東縣、六安市霍山縣
廣西南寧市馬山縣、樂東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、樂山市馬邊彝族自治縣、三明市沙縣區(qū)、西寧市湟源縣、文山文山市、東莞市常平鎮(zhèn)
攀枝花市西區(qū)、定西市隴西縣、杭州市江干區(qū)、溫州市蒼南縣、泰州市靖江市、上海市嘉定區(qū)、楚雄武定縣、嘉峪關(guān)市峪泉鎮(zhèn)、茂名市茂南區(qū)、青島市萊西市
岳陽市臨湘市、漢中市留壩縣、揭陽市揭東區(qū)、大理云龍縣、徐州市鼓樓區(qū)、衡陽市耒陽市、長沙市望城區(qū)
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肇慶市高要區(qū)、金昌市永昌縣、周口市淮陽區(qū)、孝感市安陸市、澄邁縣加樂鎮(zhèn)、太原市小店區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè),國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一,但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”?,F(xiàn)在,這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日,珠海恒格微電子裝備有限公司(簡稱“恒格微電子”)發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備,標志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題,具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點,可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進封裝領(lǐng)域,適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示,目前已跟兩家企業(yè)達成合作,一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè),雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議,將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā),推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用;另一家為三疊紀公司,雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及,目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證,并進入量產(chǎn)交付階段,現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。

恒格微電子成立于2005年,公司官網(wǎng)顯示,主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售,產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域,包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。

公司方面表示,最早專注于PCB設(shè)備,此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步,近年來瞄準半導(dǎo)體裝備賽道,聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié),根據(jù)SEMI數(shù)據(jù),刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞,半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細程度息息相關(guān),因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用,例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝里,薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備,共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上,海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示,2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體(46.71%)、東京電子(26.57%)和應(yīng)用材料(16.96%)三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升,對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展,其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下,國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中,大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標志性事件為,深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備,其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備(ETCH),包括CCP(電容耦合等離子刻蝕)、ICP(電感耦合等離子體干法刻蝕)、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝,是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟,與光刻相聯(lián)系的圖形化(pattern)處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備,能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕,兼容多種半導(dǎo)體材料,刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子,也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”,運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線,填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。

數(shù)據(jù)顯示,2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元,同比增長22.46%,比去年同期提升13.94個百分點,近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出,推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模,爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年,設(shè)計業(yè)主營收入135億元,占了大頭。對比之下,生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到,當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”,集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮,加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè),接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞,機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向,現(xiàn)在既有客戶和目標客戶中,AI業(yè)務(wù)都有所增加,也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片,其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算,這種情況下客戶會提出芯片改版的需求,使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片,AI芯片需要更高算力,有時會把幾塊芯片拼接在一起,工藝也會更加復(fù)雜?!秉S道遠表示。
目前,凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片,也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片,瞄準車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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