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長(zhǎng)治市沁縣、儋州市木棠鎮(zhèn)、玉溪市新平彝族傣族自治縣、德陽(yáng)市羅江區(qū)、白沙黎族自治縣七坊鎮(zhèn)、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、荊州市江陵縣、深圳市南山區(qū)
阜陽(yáng)市潁東區(qū)、東營(yíng)市河口區(qū)、太原市萬(wàn)柏林區(qū)、昭通市水富市、吉林市豐滿區(qū)、雞西市麻山區(qū)、淮安市洪澤區(qū)、肇慶市封開(kāi)縣、阜新市細(xì)河區(qū)
呂梁市孝義市、廣西南寧市良慶區(qū)、黔東南麻江縣、渭南市澄城縣、文昌市文教鎮(zhèn)、黔南貴定縣、寧夏固原市西吉縣
上海市崇明區(qū)、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、鄭州市鞏義市、上饒市婺源縣、甘南合作市、江門市恩平市、鞍山市臺(tái)安縣、鞍山市岫巖滿族自治縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗
濱州市無(wú)棣縣、臨沂市郯城縣、廣西崇左市江州區(qū)、阜陽(yáng)市界首市、大同市陽(yáng)高縣、定西市隴西縣、商丘市梁園區(qū)
張家界市桑植縣、東莞市清溪鎮(zhèn)、文山丘北縣、渭南市華陰市、甘孜鄉(xiāng)城縣、玉溪市峨山彝族自治縣、信陽(yáng)市淮濱縣、蘭州市安寧區(qū)、銅川市宜君縣
南京市鼓樓區(qū)、慶陽(yáng)市華池縣、北京市昌平區(qū)、菏澤市鄆城縣、信陽(yáng)市商城縣、?？谑旋埲A區(qū)、南陽(yáng)市鄧州市、貴陽(yáng)市云巖區(qū)、涼山喜德縣、延邊琿春市
蘇州市吳江區(qū)、廣元市利州區(qū)、運(yùn)城市鹽湖區(qū)、長(zhǎng)治市平順縣、許昌市長(zhǎng)葛市、雙鴨山市尖山區(qū)
昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、青島市市北區(qū)、懷化市會(huì)同縣、臺(tái)州市溫嶺市、遼陽(yáng)市遼陽(yáng)縣、廣西桂林市象山區(qū)、南陽(yáng)市南召縣、揚(yáng)州市高郵市
錦州市義縣、江門市臺(tái)山市、鄂州市鄂城區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、武漢市漢陽(yáng)區(qū)、金華市義烏市
淄博市高青縣、常州市新北區(qū)、聊城市陽(yáng)谷縣、楚雄永仁縣、本溪市明山區(qū)
寧夏吳忠市青銅峽市、無(wú)錫市新吳區(qū)、邵陽(yáng)市邵陽(yáng)縣、濟(jì)寧市梁山縣、紅河建水縣
宿遷市宿豫區(qū)、十堰市張灣區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)、遼陽(yáng)市宏偉區(qū)、重慶市云陽(yáng)縣、樂(lè)東黎族自治縣千家鎮(zhèn)、定安縣定城鎮(zhèn)、忻州市靜樂(lè)縣、綏化市肇東市
東莞市常平鎮(zhèn)、張掖市臨澤縣、海西蒙古族茫崖市、通化市柳河縣、曲靖市宣威市、西雙版納景洪市、盤錦市雙臺(tái)子區(qū)、重慶市酉陽(yáng)縣、吉林市樺甸市、畢節(jié)市金沙縣
鄭州市二七區(qū)、陽(yáng)泉市郊區(qū)、廣安市廣安區(qū)、上海市松江區(qū)、白沙黎族自治縣南開(kāi)鄉(xiāng)、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、蘭州市榆中縣、寧夏銀川市金鳳區(qū)、內(nèi)江市市中區(qū)、寶雞市隴縣
通化市輝南縣、遼陽(yáng)市宏偉區(qū)、黔南惠水縣、梅州市梅縣區(qū)、東莞市塘廈鎮(zhèn)
遵義市余慶縣、連云港市連云區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、儋州市排浦鎮(zhèn)、景德鎮(zhèn)市樂(lè)平市、重慶市北碚區(qū)、瀘州市古藺縣、佳木斯市東風(fēng)區(qū)
青島市市南區(qū)、駐馬店市泌陽(yáng)縣、漢中市洋縣、昭通市巧家縣、廣西河池市大化瑤族自治縣、中山市沙溪鎮(zhèn)、攀枝花市東區(qū)
哈爾濱市松北區(qū)、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、哈爾濱市道里區(qū)、巴中市南江縣、佛山市三水區(qū)、廣西百色市那坡縣、龍巖市上杭縣、榆林市綏德縣、紅河建水縣、恩施州鶴峰縣
涼山會(huì)東縣、瓊海市會(huì)山鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古包頭市東河區(qū)、廈門市翔安區(qū)、洛陽(yáng)市洛龍區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市豐鎮(zhèn)市、大理漾濞彝族自治縣、成都市新津區(qū)、蘇州市張家港市、榆林市定邊縣
延安市洛川縣、邵陽(yáng)市邵東市、襄陽(yáng)市老河口市、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)、上饒市廣信區(qū)、臨汾市蒲縣、撫州市廣昌縣
白沙黎族自治縣元門鄉(xiāng)、永州市雙牌縣、紅河綠春縣、廣州市越秀區(qū)、滁州市定遠(yuǎn)縣、昆明市西山區(qū)、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、東莞市道滘鎮(zhèn)
萬(wàn)寧市南橋鎮(zhèn)、南昌市安義縣、渭南市華陰市、永州市東安縣、銅仁市萬(wàn)山區(qū)、平?jīng)鍪谐缧趴h、南平市光澤縣、鄂州市鄂城區(qū)、曲靖市羅平縣、安陽(yáng)市滑縣
臺(tái)州市三門縣、許昌市長(zhǎng)葛市、酒泉市金塔縣、揭陽(yáng)市榕城區(qū)、雅安市蘆山縣、黔南荔波縣、樂(lè)東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)、沈陽(yáng)市渾南區(qū)
大同市平城區(qū)、重慶市南岸區(qū)、甘孜九龍縣、錦州市古塔區(qū)、哈爾濱市依蘭縣
蘭州市七里河區(qū)、益陽(yáng)市赫山區(qū)、大同市天鎮(zhèn)縣、江門市蓬江區(qū)、東方市三家鎮(zhèn)、榆林市米脂縣、平?jīng)鍪徐o寧縣
白山市渾江區(qū)、安陽(yáng)市安陽(yáng)縣、直轄縣仙桃市、攀枝花市東區(qū)、淮北市相山區(qū)、舟山市普陀區(qū)、六安市霍邱縣、伊春市湯旺縣、常州市武進(jìn)區(qū)
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雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)、宿遷市泗陽(yáng)縣、日照市莒縣、張家界市武陵源區(qū)、岳陽(yáng)市君山區(qū)、成都市彭州市
廣西柳州市三江侗族自治縣、長(zhǎng)治市上黨區(qū)、寧波市海曙區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、曲靖市富源縣、榆林市清澗縣、牡丹江市林口縣、徐州市睢寧縣、營(yíng)口市老邊區(qū)、攀枝花市鹽邊縣
甘南臨潭縣、文昌市文教鎮(zhèn)、駐馬店市泌陽(yáng)縣、宿遷市宿城區(qū)、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、太原市尖草坪區(qū)、廣州市黃埔區(qū)、哈爾濱市南崗區(qū)、廣西玉林市陸川縣
內(nèi)蒙古通遼市奈曼旗、黑河市遜克縣、忻州市神池縣、鶴壁市淇濱區(qū)、東莞市南城街道、寧德市屏南縣、營(yíng)口市鲅魚(yú)圈區(qū)、宜賓市珙縣
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九江市永修縣、南平市順昌縣、嘉興市海鹽縣、東莞市大嶺山鎮(zhèn)、南充市高坪區(qū)、沈陽(yáng)市法庫(kù)縣、海西蒙古族天峻縣、安慶市望江縣、樂(lè)山市峨邊彝族自治縣、昭通市彝良縣
瀘州市古藺縣、昭通市永善縣、銅仁市德江縣、天津市南開(kāi)區(qū)、贛州市大余縣、駐馬店市平輿縣、遼陽(yáng)市燈塔市
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聊城市臨清市、大同市廣靈縣、涼山寧南縣、樂(lè)山市井研縣、茂名市高州市、天津市和平區(qū)、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣
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東莞市萬(wàn)江街道、運(yùn)城市平陸縣、威海市乳山市、淮北市杜集區(qū)、廣州市從化區(qū)、忻州市原平市
白城市通榆縣、遵義市湄潭縣、安慶市大觀區(qū)、文昌市錦山鎮(zhèn)、十堰市丹江口市、湘潭市岳塘區(qū)、漳州市龍海區(qū)、瀘州市瀘縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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