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株洲市茶陵縣、玉樹囊謙縣、漢中市南鄭區(qū)、陵水黎族自治縣新村鎮(zhèn)、昆明市西山區(qū)、大同市天鎮(zhèn)縣、岳陽市華容縣、湛江市廉江市、安康市漢陰縣
河源市東源縣、周口市沈丘縣、屯昌縣南呂鎮(zhèn)、寧波市奉化區(qū)、新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市、晉中市和順縣、臨沂市平邑縣、資陽市樂至縣、臨汾市永和縣、牡丹江市東寧市
宜昌市遠(yuǎn)安縣、酒泉市玉門市、中山市南頭鎮(zhèn)、阿壩藏族羌族自治州紅原縣、蕪湖市無為市、鶴崗市綏濱縣
撫州市樂安縣、慶陽市環(huán)縣、贛州市贛縣區(qū)、懷化市會(huì)同縣、成都市崇州市
安康市紫陽縣、新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)、婁底市雙峰縣、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、五指山市通什、三門峽市陜州區(qū)、甘孜新龍縣、合肥市巢湖市、廣西賀州市平桂區(qū)
樂東黎族自治縣鶯歌海鎮(zhèn)、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、甘孜巴塘縣、廣西南寧市邕寧區(qū)、紅河蒙自市
曲靖市富源縣、株洲市淥口區(qū)、晉中市靈石縣、重慶市榮昌區(qū)、海東市循化撒拉族自治縣、松原市扶余市、大同市云州區(qū)、大慶市肇源縣、西安市新城區(qū)
長(zhǎng)治市屯留區(qū)、德州市臨邑縣、樂山市市中區(qū)、上饒市德興市、東營(yíng)市墾利區(qū)、白山市靖宇縣、鷹潭市余江區(qū)
延安市甘泉縣、德陽市綿竹市、雅安市蘆山縣、杭州市濱江區(qū)、黔東南黃平縣、廣西百色市平果市、瀘州市合江縣
屯昌縣新興鎮(zhèn)、廈門市思明區(qū)、濰坊市諸城市、廣西來賓市金秀瑤族自治縣、甘孜德格縣、三門峽市湖濱區(qū)、南陽市唐河縣、福州市臺(tái)江區(qū)、萬寧市三更羅鎮(zhèn)
通化市東昌區(qū)、畢節(jié)市納雍縣、臨汾市蒲縣、湛江市徐聞縣、合肥市包河區(qū)、達(dá)州市萬源市、濟(jì)寧市魚臺(tái)縣、鹽城市大豐區(qū)
黔東南雷山縣、河源市紫金縣、成都市雙流區(qū)、麗江市永勝縣、迪慶德欽縣、鞍山市立山區(qū)、哈爾濱市道里區(qū)、東營(yíng)市河口區(qū)
開封市禹王臺(tái)區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、海南共和縣、樂山市馬邊彝族自治縣、長(zhǎng)沙市天心區(qū)、駐馬店市確山縣、南充市營(yíng)山縣、昆明市晉寧區(qū)、黔東南岑鞏縣
商洛市洛南縣、宜賓市江安縣、海南貴南縣、韶關(guān)市翁源縣、延安市黃陵縣、曲靖市宣威市、鹽城市東臺(tái)市、廣西百色市德?？h
大同市天鎮(zhèn)縣、伊春市伊美區(qū)、菏澤市牡丹區(qū)、重慶市石柱土家族自治縣、萬寧市龍滾鎮(zhèn)
溫州市龍港市、青島市市北區(qū)、天津市靜海區(qū)、西安市灞橋區(qū)、上饒市廣豐區(qū)
楚雄武定縣、隨州市隨縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼中旗、信陽市息縣、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、遵義市正安縣、銅仁市印江縣
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟多倫縣、大同市陽高縣、澄邁縣金江鎮(zhèn)、大理鶴慶縣、綿陽市梓潼縣、襄陽市老河口市、瓊海市塔洋鎮(zhèn)、贛州市尋烏縣、黃石市大冶市、重慶市江津區(qū)
南京市江寧區(qū)、昆明市嵩明縣、廣西賀州市昭平縣、南通市海安市、瓊海市長(zhǎng)坡鎮(zhèn)
黑河市五大連池市、新鄉(xiāng)市輝縣市、定西市渭源縣、蘭州市西固區(qū)、嘉興市海鹽縣、阜新市太平區(qū)、杭州市蕭山區(qū)、本溪市平山區(qū)
廣元市利州區(qū)、昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)、孝感市安陸市、臨汾市蒲縣、武漢市新洲區(qū)、貴陽市開陽縣
莆田市城廂區(qū)、重慶市萬州區(qū)、成都市都江堰市、宿遷市泗陽縣、鶴崗市東山區(qū)、武漢市東西湖區(qū)、煙臺(tái)市福山區(qū)、寧波市慈溪市、隴南市康縣
大理大理市、廈門市集美區(qū)、寧夏銀川市興慶區(qū)、福州市閩清縣、白銀市靖遠(yuǎn)縣、安康市漢濱區(qū)、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、宜昌市點(diǎn)軍區(qū)
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大同市新榮區(qū)、海北剛察縣、佳木斯市樺川縣、臨沂市莒南縣、淮北市杜集區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市
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陵水黎族自治縣三才鎮(zhèn)、湘潭市韶山市、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、天津市靜海區(qū)、文昌市鋪前鎮(zhèn)、焦作市沁陽市、德州市武城縣、澄邁縣永發(fā)鎮(zhèn)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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