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濟南市槐蔭區(qū)、泉州市德化縣、玉樹玉樹市、許昌市禹州市、安康市寧陜縣、云浮市新興縣
深圳市鹽田區(qū)、廣西南寧市橫州市、麗水市松陽縣、駐馬店市正陽縣、長治市武鄉(xiāng)縣、臺州市玉環(huán)市、常德市桃源縣、焦作市山陽區(qū)、甘南合作市
南陽市內(nèi)鄉(xiāng)縣、昭通市彝良縣、岳陽市岳陽縣、南充市高坪區(qū)、揚州市邗江區(qū)
定安縣龍河鎮(zhèn)、資陽市安岳縣、淄博市博山區(qū)、宜春市萬載縣、黃石市下陸區(qū)
濰坊市壽光市、河源市源城區(qū)、忻州市五臺縣、廣西桂林市秀峰區(qū)、文昌市翁田鎮(zhèn)、大理云龍縣
聊城市高唐縣、白山市靖宇縣、東方市新龍鎮(zhèn)、忻州市岢嵐縣、永州市江華瑤族自治縣、朝陽市龍城區(qū)
棗莊市山亭區(qū)、廣西柳州市城中區(qū)、撫順市望花區(qū)、三明市尤溪縣、合肥市肥東縣
文昌市昌灑鎮(zhèn)、中山市坦洲鎮(zhèn)、大同市云州區(qū)、雞西市雞冠區(qū)、安慶市大觀區(qū)、湖州市南潯區(qū)、酒泉市玉門市
惠州市博羅縣、武漢市東西湖區(qū)、德州市寧津縣、伊春市嘉蔭縣、七臺河市茄子河區(qū)
直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、伊春市伊美區(qū)、慶陽市環(huán)縣、廣西來賓市金秀瑤族自治縣、武漢市武昌區(qū)
大同市天鎮(zhèn)縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市、遼陽市宏偉區(qū)、黔南長順縣、玉樹稱多縣、焦作市中站區(qū)、婁底市新化縣、甘南夏河縣
黃岡市英山縣、臨高縣加來鎮(zhèn)、襄陽市宜城市、南京市玄武區(qū)、濱州市濱城區(qū)、銅陵市義安區(qū)、重慶市大足區(qū)、清遠市陽山縣、廣安市前鋒區(qū)、大理洱源縣
廣元市利州區(qū)、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、南充市營山縣、甘南夏河縣、東莞市謝崗鎮(zhèn)、淮安市漣水縣、寧夏銀川市西夏區(qū)
荊州市荊州區(qū)、眉山市洪雅縣、撫順市新?lián)釁^(qū)、玉溪市澄江市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市東勝區(qū)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣
荊門市鐘祥市、臨沂市費縣、盤錦市盤山縣、天水市甘谷縣、大同市天鎮(zhèn)縣、遵義市綏陽縣、玉溪市通??h
南平市順昌縣、黔西南安龍縣、涼山布拖縣、株洲市炎陵縣、寧夏吳忠市同心縣
廣西百色市德??h、甘孜甘孜縣、十堰市房縣、直轄縣潛江市、洛陽市老城區(qū)
安慶市桐城市、廣州市從化區(qū)、襄陽市老河口市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、莆田市城廂區(qū)、中山市南區(qū)街道
宜賓市興文縣、黔南都勻市、楚雄雙柏縣、甘南夏河縣、樂東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、遼陽市白塔區(qū)、九江市德安縣、三門峽市陜州區(qū)
泰州市靖江市、文昌市龍樓鎮(zhèn)、龍巖市連城縣、鶴崗市蘿北縣、廣西桂林市龍勝各族自治縣、衢州市江山市
甘孜雅江縣、錦州市義縣、南陽市新野縣、廣州市番禺區(qū)、紹興市越城區(qū)、湖州市長興縣
重慶市榮昌區(qū)、三明市清流縣、成都市武侯區(qū)、洛陽市偃師區(qū)、銅川市宜君縣
海南貴德縣、宿遷市泗洪縣、北京市房山區(qū)、韶關(guān)市曲江區(qū)、懷化市新晃侗族自治縣、揚州市儀征市
雅安市雨城區(qū)、上饒市弋陽縣、杭州市上城區(qū)、焦作市山陽區(qū)、廣西崇左市扶綏縣、黔東南丹寨縣
沈陽市新民市、婁底市婁星區(qū)、齊齊哈爾市甘南縣、雙鴨山市寶山區(qū)、甘孜理塘縣、洛陽市洛寧縣、湘潭市雨湖區(qū)、滁州市定遠縣
徐州市云龍區(qū)、寧夏銀川市賀蘭縣、天津市津南區(qū)、池州市東至縣、內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)、三門峽市靈寶市、漢中市略陽縣、北京市房山區(qū)
儋州市木棠鎮(zhèn)、汕頭市潮陽區(qū)、肇慶市廣寧縣、鞍山市鐵東區(qū)、開封市通許縣、廣西玉林市福綿區(qū)、常州市鐘樓區(qū)、十堰市竹山縣
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荊門市鐘祥市、延安市宜川縣、瓊海市塔洋鎮(zhèn)、澄邁縣加樂鎮(zhèn)、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、德宏傣族景頗族自治州芒市
張掖市臨澤縣、昆明市尋甸回族彝族自治縣、東莞市塘廈鎮(zhèn)、濟寧市嘉祥縣、廣西梧州市萬秀區(qū)、中山市板芙鎮(zhèn)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣、常德市津市市、麗江市華坪縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗
內(nèi)蒙古赤峰市克什克騰旗、淮北市杜集區(qū)、廣州市增城區(qū)、怒江傈僳族自治州瀘水市、臨滄市鳳慶縣、郴州市安仁縣、迪慶香格里拉市、常德市漢壽縣、昆明市祿勸彝族苗族自治縣
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溫州市永嘉縣、忻州市神池縣、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、??谑行阌^(qū)、鐵嶺市調(diào)兵山市、德州市平原縣
渭南市韓城市、儋州市東成鎮(zhèn)、銅陵市義安區(qū)、南平市政和縣、沈陽市法庫縣、福州市臺江區(qū)、資陽市樂至縣、寧夏銀川市賀蘭縣、營口市站前區(qū)、聊城市冠縣
西寧市城北區(qū)、寶雞市岐山縣、長治市武鄉(xiāng)縣、重慶市武隆區(qū)、五指山市毛道、眉山市彭山區(qū)
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萬寧市禮紀(jì)鎮(zhèn)、德州市陵城區(qū)、清遠市連山壯族瑤族自治縣、定西市通渭縣、蘇州市姑蘇區(qū)、甘孜石渠縣、襄陽市樊城區(qū)
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上海市嘉定區(qū)、廣西百色市田林縣、安康市紫陽縣、平頂山市魯山縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗、濟寧市嘉祥縣、玉溪市新平彝族傣族自治縣、大興安嶺地區(qū)漠河市、巴中市平昌縣
西寧市湟中區(qū)、周口市川匯區(qū)、金華市金東區(qū)、咸陽市渭城區(qū)、天津市靜海區(qū)、宜春市豐城市
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雅安市漢源縣、廣西桂林市七星區(qū)、遼源市龍山區(qū)、普洱市西盟佤族自治縣、德州市寧津縣、阿壩藏族羌族自治州理縣、甘孜瀘定縣、上海市金山區(qū)、樂東黎族自治縣千家鎮(zhèn)、上饒市信州區(qū)
陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、盤錦市興隆臺區(qū)、遼陽市太子河區(qū)、榆林市綏德縣、瓊海市石壁鎮(zhèn)
合肥市長豐縣、撫州市臨川區(qū)、陵水黎族自治縣三才鎮(zhèn)、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣
萬寧市禮紀(jì)鎮(zhèn)、廣州市增城區(qū)、湘西州保靖縣、漳州市詔安縣、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)、廈門市思明區(qū)
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南充市順慶區(qū)、三門峽市盧氏縣、揚州市廣陵區(qū)、天津市和平區(qū)、金華市義烏市、榆林市榆陽區(qū)、云浮市羅定市、萍鄉(xiāng)市上栗縣、徐州市邳州市、廣西來賓市金秀瑤族自治縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè),國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一,但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”?,F(xiàn)在,這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日,珠海恒格微電子裝備有限公司(簡稱“恒格微電子”)發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備,標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題,具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點,可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進封裝領(lǐng)域,適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示,目前已跟兩家企業(yè)達成合作,一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè),雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議,將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā),推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?;瘧?yīng)用;另一家為三疊紀(jì)公司,雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及,目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證,并進入量產(chǎn)交付階段,現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。

恒格微電子成立于2005年,公司官網(wǎng)顯示,主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售,產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域,包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。

公司方面表示,最早專注于PCB設(shè)備,此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步,近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道,聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié),根據(jù)SEMI數(shù)據(jù),刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞,半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細程度息息相關(guān),因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用,例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?,薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備,共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上,海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示,2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體(46.71%)、東京電子(26.57%)和應(yīng)用材料(16.96%)三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升,對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展,其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下,國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中,大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為,深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備,其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備(ETCH),包括CCP(電容耦合等離子刻蝕)、ICP(電感耦合等離子體干法刻蝕)、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝,是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟,與光刻相聯(lián)系的圖形化(pattern)處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備,能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕,兼容多種半導(dǎo)體材料,刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子,也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”,運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線,填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。

數(shù)據(jù)顯示,2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元,同比增長22.46%,比去年同期提升13.94個百分點,近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出,推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模,爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年,設(shè)計業(yè)主營收入135億元,占了大頭。對比之下,生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到,當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”,集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮,加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè),接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞,機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向,現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中,AI業(yè)務(wù)都有所增加,也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片,其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算,這種情況下客戶會提出芯片改版的需求,使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片,AI芯片需要更高算力,有時會把幾塊芯片拼接在一起,工藝也會更加復(fù)雜?!秉S道遠表示。
目前,凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片,也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片,瞄準(zhǔn)車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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