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三亞市天涯區(qū)、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、肇慶市廣寧縣、南京市玄武區(qū)、寧夏中衛(wèi)市沙坡頭區(qū)
許昌市建安區(qū)、南昌市安義縣、洛陽市欒川縣、蕪湖市繁昌區(qū)、廈門市湖里區(qū)、昭通市鎮(zhèn)雄縣、太原市婁煩縣、定西市隴西縣、無錫市錫山區(qū)、上饒市鄱陽縣
嘉峪關(guān)市峪泉鎮(zhèn)、泉州市金門縣、咸陽市淳化縣、梅州市興寧市、臨汾市大寧縣、東莞市茶山鎮(zhèn)、湛江市遂溪縣
臨高縣南寶鎮(zhèn)、漢中市略陽縣、牡丹江市寧安市、菏澤市鄆城縣、邵陽市新寧縣、臨汾市霍州市、錦州市北鎮(zhèn)市、臨高縣加來鎮(zhèn)
河源市東源縣、阜陽市潁東區(qū)、南京市玄武區(qū)、綏化市青岡縣、紅河瀘西縣、儋州市大成鎮(zhèn)、廣元市劍閣縣、濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣、廣西來賓市興賓區(qū)、寧波市北侖區(qū)
阜陽市潁州區(qū)、襄陽市襄州區(qū)、海北祁連縣、新鄉(xiāng)市長垣市、保山市騰沖市、廣西桂林市疊彩區(qū)、天津市武清區(qū)、洛陽市老城區(qū)
濟(jì)南市章丘區(qū)、長治市沁縣、大同市云岡區(qū)、定西市隴西縣、岳陽市汨羅市、涼山昭覺縣、常德市津市市、吉安市永新縣
涼山美姑縣、襄陽市樊城區(qū)、蘇州市昆山市、屯昌縣烏坡鎮(zhèn)、貴陽市花溪區(qū)、襄陽市南漳縣、海口市美蘭區(qū)、廣安市前鋒區(qū)
九江市潯陽區(qū)、齊齊哈爾市拜泉縣、青島市市南區(qū)、平頂山市郟縣、銅川市王益區(qū)
忻州市定襄縣、銅陵市銅官區(qū)、太原市杏花嶺區(qū)、文昌市蓬萊鎮(zhèn)、上饒市玉山縣、沈陽市于洪區(qū)、東莞市望牛墩鎮(zhèn)、撫順市望花區(qū)、廣安市武勝縣
嘉興市秀洲區(qū)、天津市東麗區(qū)、運(yùn)城市平陸縣、雙鴨山市寶山區(qū)、濟(jì)寧市泗水縣、宜春市奉新縣、上饒市弋陽縣、安慶市迎江區(qū)、宜春市高安市、大同市陽高縣
鄭州市新鄭市、涼山寧南縣、深圳市光明區(qū)、泉州市泉港區(qū)、徐州市云龍區(qū)
東莞市樟木頭鎮(zhèn)、成都市郫都區(qū)、周口市鹿邑縣、天津市薊州區(qū)、蕪湖市南陵縣、溫州市永嘉縣、聊城市東昌府區(qū)、寧德市霞浦縣
黃山市屯溪區(qū)、定西市隴西縣、眉山市東坡區(qū)、楚雄大姚縣、遵義市余慶縣、廣西貴港市桂平市
聊城市東阿縣、樂山市犍為縣、贛州市石城縣、甘南舟曲縣、渭南市合陽縣、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)
三亞市吉陽區(qū)、酒泉市瓜州縣、宜賓市珙縣、蘇州市姑蘇區(qū)、廣西玉林市福綿區(qū)、寧夏吳忠市青銅峽市、定西市通渭縣
萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、宜昌市點(diǎn)軍區(qū)、延邊和龍市、榆林市靖邊縣、宜賓市敘州區(qū)
達(dá)州市開江縣、大同市新榮區(qū)、三明市建寧縣、寧德市福安市、邵陽市大祥區(qū)、北京市懷柔區(qū)、樂山市井研縣
聊城市茌平區(qū)、屯昌縣西昌鎮(zhèn)、六安市金安區(qū)、鶴崗市蘿北縣、甘孜爐霍縣、文山西疇縣
陽江市陽西縣、湘西州瀘溪縣、寧夏銀川市靈武市、中山市小欖鎮(zhèn)、安陽市內(nèi)黃縣、臺(tái)州市路橋區(qū)、葫蘆島市綏中縣、阿壩藏族羌族自治州汶川縣、自貢市沿灘區(qū)、舟山市岱山縣
忻州市五臺(tái)縣、德州市慶云縣、涼山越西縣、忻州市原平市、寶雞市金臺(tái)區(qū)、大理大理市、玉樹囊謙縣、綿陽市涪城區(qū)、宿遷市泗陽縣、麗水市縉云縣
嘉峪關(guān)市文殊鎮(zhèn)、海東市樂都區(qū)、金昌市金川區(qū)、婁底市新化縣、白山市臨江市、洛陽市瀍河回族區(qū)、廣西桂林市灌陽縣
洛陽市新安縣、漯河市郾城區(qū)、綏化市綏棱縣、東營市河口區(qū)、濟(jì)南市平陰縣、德州市慶云縣
中山市東區(qū)街道、吉安市永新縣、濰坊市寒亭區(qū)、衢州市龍游縣、常州市溧陽市、永州市江華瑤族自治縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、定西市臨洮縣、五指山市毛陽、九江市共青城市
南京市高淳區(qū)、文山麻栗坡縣、陽泉市盂縣、韶關(guān)市仁化縣、溫州市洞頭區(qū)、安康市石泉縣、儋州市雅星鎮(zhèn)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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