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天津市薊州區(qū)、萬(wàn)寧市禮紀(jì)鎮(zhèn)、牡丹江市東寧市、安陽(yáng)市龍安區(qū)、海西蒙古族茫崖市、酒泉市肅州區(qū)、武漢市江夏區(qū)、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、臨滄市鳳慶縣、大連市旅順口區(qū)
汕頭市潮陽(yáng)區(qū)、潮州市湘橋區(qū)、渭南市富平縣、南京市浦口區(qū)、武漢市東西湖區(qū)、恩施州巴東縣
白沙黎族自治縣元門(mén)鄉(xiāng)、郴州市蘇仙區(qū)、商丘市虞城縣、荊州市公安縣、三明市泰寧縣、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗、內(nèi)蒙古烏蘭察布市商都縣、紅河紅河縣
延安市甘泉縣、太原市迎澤區(qū)、襄陽(yáng)市棗陽(yáng)市、定西市岷縣、盤(pán)錦市雙臺(tái)子區(qū)、呂梁市孝義市、徐州市云龍區(qū)、阿壩藏族羌族自治州茂縣、蘇州市吳中區(qū)、廣西桂林市靈川縣
吉安市吉水縣、成都市蒲江縣、瓊海市潭門(mén)鎮(zhèn)、眉山市洪雅縣、永州市江華瑤族自治縣、常州市天寧區(qū)、沈陽(yáng)市大東區(qū)、郴州市北湖區(qū)
連云港市東?？h、深圳市龍華區(qū)、郴州市安仁縣、涼山德昌縣、岳陽(yáng)市汨羅市、阜新市彰武縣、韶關(guān)市武江區(qū)、惠州市博羅縣、西安市長(zhǎng)安區(qū)
重慶市開(kāi)州區(qū)、平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)、延邊安圖縣、西雙版納勐?？h、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、淮北市烈山區(qū)、普洱市景東彝族自治縣、忻州市五寨縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林右旗
宿遷市泗陽(yáng)縣、廣西來(lái)賓市合山市、延安市延長(zhǎng)縣、上海市崇明區(qū)、天水市甘谷縣
贛州市尋烏縣、廣西百色市凌云縣、安陽(yáng)市龍安區(qū)、澄邁縣老城鎮(zhèn)、龍巖市新羅區(qū)、黔東南劍河縣、西寧市城東區(qū)
肇慶市廣寧縣、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟錫林浩特市、安慶市大觀區(qū)、泉州市永春縣、臨沂市蒙陰縣、南平市順昌縣、寧夏中衛(wèi)市中寧縣
哈爾濱市南崗區(qū)、涼山甘洛縣、上饒市婺源縣、太原市古交市、廈門(mén)市翔安區(qū)、六安市裕安區(qū)、呂梁市臨縣、臨夏康樂(lè)縣、盤(pán)錦市大洼區(qū)
邵陽(yáng)市洞口縣、鎮(zhèn)江市丹陽(yáng)市、重慶市大足區(qū)、邵陽(yáng)市隆回縣、煙臺(tái)市福山區(qū)
廣西來(lái)賓市忻城縣、文山富寧縣、武威市古浪縣、云浮市云城區(qū)、雞西市雞冠區(qū)、鄂州市華容區(qū)、宜昌市宜都市、延安市延長(zhǎng)縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市、駐馬店市泌陽(yáng)縣
涼山會(huì)東縣、煙臺(tái)市棲霞市、朝陽(yáng)市建平縣、畢節(jié)市黔西市、徐州市賈汪區(qū)、寧夏中衛(wèi)市沙坡頭區(qū)、營(yíng)口市站前區(qū)、甘孜九龍縣、青島市平度市、通化市集安市
白山市靖宇縣、重慶市武隆區(qū)、珠海市香洲區(qū)、萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、黔南平塘縣、雅安市漢源縣、呂梁市交口縣、榆林市吳堡縣
南平市順昌縣、長(zhǎng)春市朝陽(yáng)區(qū)、晉中市平遙縣、上饒市廣信區(qū)、滁州市來(lái)安縣、韶關(guān)市武江區(qū)、臨汾市大寧縣
漢中市西鄉(xiāng)縣、德州市德城區(qū)、孝感市應(yīng)城市、撫順市清原滿族自治縣、安康市白河縣、錦州市古塔區(qū)、盤(pán)錦市雙臺(tái)子區(qū)、黔東南三穗縣
衡陽(yáng)市石鼓區(qū)、張掖市山丹縣、廈門(mén)市集美區(qū)、嘉興市嘉善縣、南陽(yáng)市宛城區(qū)、齊齊哈爾市富裕縣、黔東南黃平縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、臨沂市蘭陵縣、東莞市厚街鎮(zhèn)
蘭州市皋蘭縣、長(zhǎng)治市沁縣、寧夏銀川市金鳳區(qū)、鎮(zhèn)江市京口區(qū)、佛山市南海區(qū)
上海市普陀區(qū)、廣西桂林市恭城瑤族自治縣、河源市和平縣、棗莊市薛城區(qū)、寶雞市麟游縣、四平市梨樹(shù)縣
淮南市潘集區(qū)、常德市桃源縣、襄陽(yáng)市?？悼h、長(zhǎng)沙市瀏陽(yáng)市、洛陽(yáng)市伊川縣、廣西防城港市上思縣、汕頭市潮南區(qū)
廣西河池市天峨縣、臺(tái)州市椒江區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、吉安市泰和縣、儋州市中和鎮(zhèn)、遼陽(yáng)市白塔區(qū)
陽(yáng)泉市礦區(qū)、阜陽(yáng)市界首市、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)樓區(qū)、盤(pán)錦市雙臺(tái)子區(qū)、貴陽(yáng)市烏當(dāng)區(qū)
呂梁市離石區(qū)、龍巖市上杭縣、咸陽(yáng)市三原縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗、中山市南頭鎮(zhèn)、榆林市子洲縣
內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、濮陽(yáng)市華龍區(qū)、泉州市石獅市、寧波市北侖區(qū)、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、馬鞍山市博望區(qū)、定安縣黃竹鎮(zhèn)、錦州市古塔區(qū)、紅河彌勒市
宜賓市江安縣、焦作市修武縣、南充市南部縣、十堰市房縣、臨沂市河?xùn)|區(qū)、衢州市常山縣
內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、鹽城市響水縣、海南興?？h、眉山市東坡區(qū)、大同市渾源縣、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、玉溪市易門(mén)縣、貴陽(yáng)市修文縣、北京市平谷區(qū)、安慶市宿松縣
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孝感市孝昌縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、咸寧市咸安區(qū)、臨沂市蒙陰縣、常州市溧陽(yáng)市、白沙黎族自治縣邦溪鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗、麗水市青田縣、廣西南寧市良慶區(qū)
東方市天安鄉(xiāng)、揚(yáng)州市邗江區(qū)、煙臺(tái)市福山區(qū)、中山市板芙鎮(zhèn)、潮州市饒平縣、銅仁市玉屏侗族自治縣、贛州市龍南市、吉林市樺甸市、鶴崗市工農(nóng)區(qū)
運(yùn)城市聞喜縣、紹興市上虞區(qū)、青島市嶗山區(qū)、茂名市茂南區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗、汕頭市潮南區(qū)
成都市彭州市、曲靖市陸良縣、天津市靜海區(qū)、棗莊市臺(tái)兒莊區(qū)、白山市江源區(qū)、成都市龍泉驛區(qū)、寶雞市千陽(yáng)縣、北京市東城區(qū)、瓊海市石壁鎮(zhèn)
紅河建水縣、臨滄市永德縣、澄邁縣福山鎮(zhèn)、濟(jì)南市槐蔭區(qū)、德州市齊河縣、廣西南寧市隆安縣、上饒市橫峰縣、海東市樂(lè)都區(qū)、甘孜稻城縣、樂(lè)東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)
文昌市龍樓鎮(zhèn)、慶陽(yáng)市華池縣、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、呂梁市孝義市、東莞市莞城街道、洛陽(yáng)市嵩縣
漳州市云霄縣、臨高縣和舍鎮(zhèn)、鄭州市滎陽(yáng)市、韶關(guān)市乳源瑤族自治縣、文山西疇縣、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、綿陽(yáng)市三臺(tái)縣、黑河市嫩江市、周口市扶溝縣、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、阿壩藏族羌族自治州壤塘縣、上海市楊浦區(qū)、白城市洮南市、內(nèi)江市威遠(yuǎn)縣、丹東市振興區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗、紅河瀘西縣、東方市大田鎮(zhèn)
菏澤市巨野縣、長(zhǎng)沙市開(kāi)福區(qū)、成都市都江堰市、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、杭州市淳安縣、湘潭市雨湖區(qū)、武漢市新洲區(qū)
上海市閔行區(qū)、杭州市桐廬縣、大理賓川縣、楚雄武定縣、九江市潯陽(yáng)區(qū)、金昌市永昌縣、汕頭市潮南區(qū)
洛陽(yáng)市新安縣、阜陽(yáng)市潁泉區(qū)、南平市順昌縣、綿陽(yáng)市游仙區(qū)、定安縣龍湖鎮(zhèn)、郴州市永興縣、昆明市嵩明縣、煙臺(tái)市龍口市、廣安市廣安區(qū)
德陽(yáng)市中江縣、成都市新都區(qū)、南京市棲霞區(qū)、安慶市宜秀區(qū)、臨沂市河?xùn)|區(qū)、宜昌市夷陵區(qū)、白城市洮北區(qū)、甘南合作市、上饒市鉛山縣、韶關(guān)市曲江區(qū)
三門(mén)峽市陜州區(qū)、麗江市玉龍納西族自治縣、佛山市順德區(qū)、許昌市建安區(qū)、濟(jì)寧市微山縣、阜陽(yáng)市臨泉縣、蘭州市紅古區(qū)
廣元市劍閣縣、六安市霍邱縣、吉林市樺甸市、咸陽(yáng)市旬邑縣、黔西南望謨縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼后旗、宜昌市遠(yuǎn)安縣
濮陽(yáng)市濮陽(yáng)縣、連云港市贛榆區(qū)、鶴崗市蘿北縣、南平市延平區(qū)、武漢市東西湖區(qū)
晉中市太谷區(qū)、三明市尤溪縣、定安縣龍湖鎮(zhèn)、常德市桃源縣、黔南羅甸縣
開(kāi)封市禹王臺(tái)區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、海南共和縣、樂(lè)山市馬邊彝族自治縣、長(zhǎng)沙市天心區(qū)、駐馬店市確山縣、南充市營(yíng)山縣、昆明市晉寧區(qū)、黔東南岑鞏縣
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張掖市山丹縣、甘南迭部縣、重慶市城口縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟太仆寺旗、渭南市蒲城縣、武威市天祝藏族自治縣
江門(mén)市江海區(qū)、遂寧市安居區(qū)、梅州市興寧市、貴陽(yáng)市花溪區(qū)、廣西防城港市上思縣、南平市政和縣、贛州市寧都縣、麗江市玉龍納西族自治縣、東莞市塘廈鎮(zhèn)
渭南市合陽(yáng)縣、臺(tái)州市溫嶺市、吉林市昌邑區(qū)、西寧市湟中區(qū)、煙臺(tái)市棲霞市、延安市吳起縣
廣西南寧市橫州市、恩施州利川市、駐馬店市正陽(yáng)縣、馬鞍山市當(dāng)涂縣、怒江傈僳族自治州瀘水市、攀枝花市鹽邊縣、煙臺(tái)市棲霞市、涼山西昌市
咸陽(yáng)市秦都區(qū)、武漢市江岸區(qū)、成都市彭州市、贛州市石城縣、眉山市洪雅縣、黔東南施秉縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗
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泰州市海陵區(qū)、楚雄南華縣、呂梁市中陽(yáng)縣、文昌市東閣鎮(zhèn)、慶陽(yáng)市合水縣、晉中市太谷區(qū)、中山市橫欄鎮(zhèn)、臨沂市臨沭縣
濮陽(yáng)市臺(tái)前縣、贛州市信豐縣、邵陽(yáng)市新寧縣、韶關(guān)市始興縣、六安市金寨縣、臨沂市沂南縣、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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