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海西蒙古族茫崖市、貴陽市南明區(qū)、黃岡市黃梅縣、三明市大田縣、衢州市江山市、肇慶市懷集縣、蕪湖市繁昌區(qū)、郴州市安仁縣、南通市崇川區(qū)
黔西南貞豐縣、雙鴨山市集賢縣、湛江市赤坎區(qū)、綿陽市三臺縣、周口市太康縣、東莞市洪梅鎮(zhèn)
上海市崇明區(qū)、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、鄭州市鞏義市、上饒市婺源縣、甘南合作市、江門市恩平市、鞍山市臺安縣、鞍山市岫巖滿族自治縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗
江門市新會區(qū)、亳州市譙城區(qū)、汕尾市海豐縣、威海市乳山市、定安縣雷鳴鎮(zhèn)、棗莊市嶧城區(qū)、潮州市湘橋區(qū)、中山市民眾鎮(zhèn)
玉溪市江川區(qū)、張掖市山丹縣、廣安市前鋒區(qū)、廣西南寧市上林縣、樂山市沐川縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、福州市倉山區(qū)、張掖市臨澤縣、渭南市蒲城縣
天水市張家川回族自治縣、咸寧市咸安區(qū)、株洲市荷塘區(qū)、瀘州市江陽區(qū)、甘南迭部縣、武漢市江漢區(qū)、萬寧市龍滾鎮(zhèn)
濰坊市昌樂縣、紅河個舊市、重慶市銅梁區(qū)、昭通市巧家縣、泰安市肥城市
曲靖市師宗縣、大慶市讓胡路區(qū)、長治市平順縣、孝感市安陸市、福州市倉山區(qū)、德宏傣族景頗族自治州芒市、大慶市林甸縣
寧夏石嘴山市平羅縣、鶴崗市興山區(qū)、西寧市城東區(qū)、南通市如皋市、臨沂市河?xùn)|區(qū)、天津市濱海新區(qū)、廣安市前鋒區(qū)、沈陽市于洪區(qū)
臨汾市安澤縣、安康市漢陰縣、黔東南錦屏縣、泰州市靖江市、牡丹江市穆棱市
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、大慶市肇源縣、萬寧市東澳鎮(zhèn)、齊齊哈爾市龍江縣、安陽市文峰區(qū)、徐州市新沂市、十堰市房縣、吉安市遂川縣、益陽市南縣
伊春市南岔縣、中山市阜沙鎮(zhèn)、遵義市鳳岡縣、海南貴南縣、池州市東至縣
遼源市東遼縣、甘孜得榮縣、阿壩藏族羌族自治州茂縣、黃南澤庫縣、成都市青羊區(qū)、廣西南寧市邕寧區(qū)、廣西桂林市龍勝各族自治縣、漯河市郾城區(qū)、朔州市應(yīng)縣、溫州市泰順縣
廣西百色市平果市、濱州市鄒平市、臨汾市汾西縣、重慶市江津區(qū)、黃南河南蒙古族自治縣
廣西河池市東蘭縣、江門市開平市、撫州市崇仁縣、海北海晏縣、澄邁縣仁興鎮(zhèn)
雞西市梨樹區(qū)、合肥市肥東縣、商洛市丹鳳縣、平頂山市郟縣、廣元市蒼溪縣、河源市東源縣、自貢市榮縣、四平市鐵西區(qū)、臨沂市蘭陵縣
遼陽市燈塔市、齊齊哈爾市龍沙區(qū)、吉林市豐滿區(qū)、寧夏銀川市金鳳區(qū)、十堰市張灣區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克前旗、營口市老邊區(qū)
本溪市明山區(qū)、西寧市湟中區(qū)、遵義市桐梓縣、懷化市麻陽苗族自治縣、廣西河池市都安瑤族自治縣、九江市共青城市、廣州市海珠區(qū)、麗水市遂昌縣、婁底市雙峰縣
臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、本溪市平山區(qū)、威海市文登區(qū)、長沙市望城區(qū)、萬寧市禮紀(jì)鎮(zhèn)、駐馬店市正陽縣、黃岡市黃梅縣、咸陽市長武縣、揚州市江都區(qū)
黃山市黟縣、黔東南臺江縣、焦作市馬村區(qū)、肇慶市封開縣、紅河個舊市、廈門市湖里區(qū)、成都市錦江區(qū)
周口市西華縣、上海市閔行區(qū)、重慶市綦江區(qū)、徐州市新沂市、榆林市靖邊縣、攀枝花市鹽邊縣、邵陽市新邵縣、廣西百色市那坡縣
榆林市橫山區(qū)、濮陽市清豐縣、泰安市岱岳區(qū)、銅仁市石阡縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟多倫縣、龍巖市上杭縣、吉林市磐石市、寶雞市陳倉區(qū)、湛江市遂溪縣
臨沂市蒙陰縣、西安市灞橋區(qū)、合肥市瑤海區(qū)、臨汾市安澤縣、江門市江海區(qū)、常德市津市市、黃南河南蒙古族自治縣、屯昌縣西昌鎮(zhèn)、黃岡市麻城市、商洛市洛南縣
滁州市天長市、德陽市廣漢市、阜陽市太和縣、畢節(jié)市赫章縣、寶雞市鳳縣、寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)
楚雄永仁縣、鶴崗市興安區(qū)、云浮市云安區(qū)、甘孜瀘定縣、衡陽市常寧市、內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、長治市潞城區(qū)、六安市金安區(qū)、昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)、張家界市永定區(qū)
大連市甘井子區(qū)、甘孜巴塘縣、金華市義烏市、內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、三沙市西沙區(qū)、青島市平度市、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、宜賓市翠屏區(qū)
廣西柳州市柳南區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正鑲白旗、廣西桂林市全州縣、泰安市泰山區(qū)、牡丹江市穆棱市、長治市沁源縣
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七臺河市勃利縣、隴南市宕昌縣、韶關(guān)市翁源縣、安陽市林州市、廣州市增城區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè),國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一,但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”。現(xiàn)在,這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日,珠海恒格微電子裝備有限公司(簡稱“恒格微電子”)發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備,標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題,具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點,可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進封裝領(lǐng)域,適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示,目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作,一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè),雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議,將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā),推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?;瘧?yīng)用;另一家為三疊紀(jì)公司,雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及,目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證,并進入量產(chǎn)交付階段,現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。

恒格微電子成立于2005年,公司官網(wǎng)顯示,主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售,產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域,包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。

公司方面表示,最早專注于PCB設(shè)備,此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步,近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道,聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié),根據(jù)SEMI數(shù)據(jù),刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞,半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān),因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用,例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?,薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備,共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上,海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示,2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體(46.71%)、東京電子(26.57%)和應(yīng)用材料(16.96%)三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升,對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展,其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下,國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中,大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為,深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備,其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備(ETCH),包括CCP(電容耦合等離子刻蝕)、ICP(電感耦合等離子體干法刻蝕)、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝,是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟,與光刻相聯(lián)系的圖形化(pattern)處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備,能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕,兼容多種半導(dǎo)體材料,刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子,也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”,運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線,填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。

數(shù)據(jù)顯示,2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元,同比增長22.46%,比去年同期提升13.94個百分點,近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出,推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模,爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年,設(shè)計業(yè)主營收入135億元,占了大頭。對比之下,生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到,當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”,集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮,加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè),接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞,機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向,現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中,AI業(yè)務(wù)都有所增加,也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片,其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算,這種情況下客戶會提出芯片改版的需求,使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片,AI芯片需要更高算力,有時會把幾塊芯片拼接在一起,工藝也會更加復(fù)雜?!秉S道遠(yuǎn)表示。
目前,凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片,也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片,瞄準(zhǔn)車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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