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黃南同仁市、寶雞市金臺(tái)區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗、牡丹江市西安區(qū)、濰坊市高密市、德陽(yáng)市什邡市、瀘州市江陽(yáng)區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗
昭通市鎮(zhèn)雄縣、吉安市永新縣、海西蒙古族格爾木市、寧德市霞浦縣、慶陽(yáng)市鎮(zhèn)原縣、遂寧市安居區(qū)、盤錦市大洼區(qū)、東莞市大朗鎮(zhèn)、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)
寧夏銀川市賀蘭縣、莆田市仙游縣、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)、銅陵市銅官區(qū)、廣西貴港市覃塘區(qū)、曲靖市富源縣、丹東市振興區(qū)
大理劍川縣、萬寧市萬城鎮(zhèn)、臨夏康樂縣、廣西桂林市永??h、常州市武進(jìn)區(qū)、珠海市金灣區(qū)、濰坊市臨朐縣、雅安市石棉縣
臨汾市古縣、運(yùn)城市萬榮縣、衡陽(yáng)市衡南縣、鹽城市響水縣、臨沂市平邑縣、白沙黎族自治縣南開鄉(xiāng)、酒泉市瓜州縣、淄博市淄川區(qū)、寶雞市麟游縣
鶴壁市山城區(qū)、葫蘆島市連山區(qū)、果洛瑪多縣、甘孜雅江縣、九江市武寧縣、麗水市慶元縣、泰安市肥城市、萬寧市龍滾鎮(zhèn)、遵義市匯川區(qū)、大理巍山彝族回族自治縣
榆林市神木市、陽(yáng)江市江城區(qū)、黃岡市浠水縣、天津市北辰區(qū)、聊城市東阿縣、青島市即墨區(qū)、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、邵陽(yáng)市雙清區(qū)、澄邁縣大豐鎮(zhèn)
武漢市青山區(qū)、銅仁市玉屏侗族自治縣、北京市門頭溝區(qū)、商洛市山陽(yáng)縣、廣西南寧市江南區(qū)、齊齊哈爾市克東縣
保山市施甸縣、汕頭市龍湖區(qū)、懷化市新晃侗族自治縣、黔南長(zhǎng)順縣、阜陽(yáng)市潁上縣
荊門市鐘祥市、臨沂市費(fèi)縣、盤錦市盤山縣、天水市甘谷縣、大同市天鎮(zhèn)縣、遵義市綏陽(yáng)縣、玉溪市通??h
樂東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)、樂山市峨眉山市、蘭州市紅古區(qū)、撫順市東洲區(qū)、德州市武城縣、德陽(yáng)市綿竹市、廣西河池市宜州區(qū)、東莞市高埗鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古通遼市奈曼旗、黑河市遜克縣、忻州市神池縣、鶴壁市淇濱區(qū)、東莞市南城街道、寧德市屏南縣、營(yíng)口市鲅魚圈區(qū)、宜賓市珙縣
楚雄元謀縣、內(nèi)蒙古通遼市霍林郭勒市、內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗、廣安市前鋒區(qū)、衡陽(yáng)市耒陽(yáng)市、宜春市銅鼓縣、深圳市龍崗區(qū)、臨汾市蒲縣、濟(jì)南市市中區(qū)、湘西州花垣縣
廣西崇左市龍州縣、駐馬店市驛城區(qū)、臨汾市吉縣、黑河市五大連池市、直轄縣潛江市
臨沂市河?xùn)|區(qū)、臨汾市侯馬市、撫州市樂安縣、江門市恩平市、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、煙臺(tái)市海陽(yáng)市
酒泉市敦煌市、株洲市茶陵縣、遵義市湄潭縣、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)、白沙黎族自治縣元門鄉(xiāng)、深圳市龍華區(qū)、安慶市迎江區(qū)、阿壩藏族羌族自治州理縣、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)
金華市磐安縣、東方市東河鎮(zhèn)、周口市川匯區(qū)、西雙版納景洪市、南京市江寧區(qū)
果洛班瑪縣、上饒市余干縣、遵義市余慶縣、濟(jì)源市市轄區(qū)、煙臺(tái)市龍口市、梅州市梅縣區(qū)、珠海市香洲區(qū)、贛州市南康區(qū)
晉中市左權(quán)縣、上饒市萬年縣、襄陽(yáng)市宜城市、天津市濱海新區(qū)、寶雞市金臺(tái)區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、黔西南冊(cè)亨縣、贛州市全南縣、泰州市泰興市
麗江市寧蒗彝族自治縣、大連市金州區(qū)、鄂州市鄂城區(qū)、樂東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、長(zhǎng)春市綠園區(qū)、三亞市崖州區(qū)、溫州市甌海區(qū)、綿陽(yáng)市安州區(qū)、鄭州市金水區(qū)、撫州市樂安縣
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直轄縣天門市、忻州市岢嵐縣、巴中市恩陽(yáng)區(qū)、邵陽(yáng)市大祥區(qū)、上饒市弋陽(yáng)縣
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廣西玉林市陸川縣、中山市三角鎮(zhèn)、邵陽(yáng)市大祥區(qū)、南充市南部縣、宜昌市秭歸縣、忻州市代縣、洛陽(yáng)市伊川縣、普洱市墨江哈尼族自治縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè),國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一,但長(zhǎng)期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?,F(xiàn)在,這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日,珠海恒格微電子裝備有限公司(簡(jiǎn)稱“恒格微電子”)發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備,標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題,具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn),可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域,適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示,目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作,一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè),雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議,將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā),推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用;另一家為三疊紀(jì)公司,雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及,目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證,并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段,現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。

恒格微電子成立于2005年,公司官網(wǎng)顯示,主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售,產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域,包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。

公司方面表示,最早專注于PCB設(shè)備,此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步,近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道,聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié),根據(jù)SEMI數(shù)據(jù),刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞,半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān),因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用,例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?,薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備,共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上,海外廠商長(zhǎng)期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示,2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體(46.71%)、東京電子(26.57%)和應(yīng)用材料(16.96%)三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升,對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展,其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下,國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中,大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為,深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備,其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備(ETCH),包括CCP(電容耦合等離子刻蝕)、ICP(電感耦合等離子體干法刻蝕)、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝,是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟,與光刻相聯(lián)系的圖形化(pattern)處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備,能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕,兼容多種半導(dǎo)體材料,刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子,也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”,運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線,填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。

數(shù)據(jù)顯示,2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元,同比增長(zhǎng)22.46%,比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn),近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出,推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模,爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年,設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元,占了大頭。對(duì)比之下,生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到,當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”,集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮,加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè),接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞,機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向,現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中,AI業(yè)務(wù)都有所增加,也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片,其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算,這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求,使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片,AI芯片需要更高算力,有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起,工藝也會(huì)更加復(fù)雜?!秉S道遠(yuǎn)表示。
目前,凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片,也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片,瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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