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澄邁縣中興鎮(zhèn)、潮州市湘橋區(qū)、六安市霍山縣、金華市磐安縣、重慶市長(zhǎng)壽區(qū)
蘇州市吳江區(qū)、南通市通州區(qū)、福州市馬尾區(qū)、連云港市東海縣、濰坊市坊子區(qū)
廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、哈爾濱市木蘭縣、運(yùn)城市夏縣、紹興市嵊州市、贛州市興國縣、馬鞍山市雨山區(qū)
大慶市林甸縣、懷化市鶴城區(qū)、咸陽市楊陵區(qū)、嘉興市海寧市、廣西百色市那坡縣
運(yùn)城市河津市、煙臺(tái)市龍口市、濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣、梅州市豐順縣、大連市中山區(qū)、東方市八所鎮(zhèn)、長(zhǎng)沙市望城區(qū)、濮陽市清豐縣、宿州市泗縣
五指山市通什、大慶市讓胡路區(qū)、紹興市越城區(qū)、廣西桂林市灌陽縣、佳木斯市湯原縣、運(yùn)城市永濟(jì)市、周口市西華縣
四平市鐵西區(qū)、宜賓市敘州區(qū)、清遠(yuǎn)市連州市、衡陽市蒸湘區(qū)、重慶市云陽縣、大同市平城區(qū)、遵義市余慶縣
平頂山市寶豐縣、內(nèi)蒙古包頭市白云鄂博礦區(qū)、成都市簡(jiǎn)陽市、寧夏吳忠市同心縣、臨汾市霍州市、白銀市平川區(qū)、自貢市貢井區(qū)、晉城市澤州縣、金華市浦江縣、寧夏中衛(wèi)市海原縣
洛陽市洛寧縣、吉林市舒蘭市、南平市邵武市、平頂山市郟縣、邵陽市新邵縣、泰州市高港區(qū)
松原市扶余市、衢州市衢江區(qū)、張掖市甘州區(qū)、昆明市晉寧區(qū)、六安市霍邱縣、麗水市慶元縣
昭通市永善縣、南陽市臥龍區(qū)、南昌市東湖區(qū)、宜賓市南溪區(qū)、重慶市巴南區(qū)、張家界市慈利縣、阿壩藏族羌族自治州理縣、天津市津南區(qū)、吉安市吉水縣、眉山市洪雅縣
長(zhǎng)治市沁縣、湛江市赤坎區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市庫倫旗、內(nèi)蒙古包頭市青山區(qū)、平頂山市魯山縣、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)、銅仁市萬山區(qū)、恩施州恩施市、紅河個(gè)舊市、沈陽市和平區(qū)
中山市民眾鎮(zhèn)、茂名市電白區(qū)、齊齊哈爾市拜泉縣、平?jīng)鍪袥艽h、樂東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、寶雞市鳳縣、延邊汪清縣、延邊敦化市
南平市建甌市、贛州市大余縣、南陽市新野縣、濟(jì)寧市微山縣、杭州市江干區(qū)、衢州市常山縣、定西市渭源縣、天水市麥積區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗
茂名市茂南區(qū)、南京市棲霞區(qū)、上饒市鉛山縣、宜昌市夷陵區(qū)、七臺(tái)河市茄子河區(qū)、阿壩藏族羌族自治州金川縣
寧夏石嘴山市大武口區(qū)、臨高縣皇桐鎮(zhèn)、樂東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)、開封市祥符區(qū)、馬鞍山市雨山區(qū)、西安市碑林區(qū)、聊城市莘縣
銅仁市碧江區(qū)、雞西市城子河區(qū)、重慶市大足區(qū)、長(zhǎng)治市黎城縣、朝陽市建平縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、保山市騰沖市
茂名市電白區(qū)、咸陽市楊陵區(qū)、贛州市信豐縣、煙臺(tái)市萊山區(qū)、安康市鎮(zhèn)坪縣、濟(jì)南市濟(jì)陽區(qū)、盤錦市興隆臺(tái)區(qū)、淮北市濉溪縣
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、嘉峪關(guān)市文殊鎮(zhèn)、信陽市羅山縣、天水市秦安縣、渭南市臨渭區(qū)、聊城市東昌府區(qū)、吉林市蛟河市、中山市民眾鎮(zhèn)、白山市撫松縣、四平市伊通滿族自治縣
杭州市桐廬縣、武漢市江岸區(qū)、蘇州市太倉市、綿陽市游仙區(qū)、咸寧市崇陽縣、宜賓市翠屏區(qū)
六安市金安區(qū)、甘南迭部縣、成都市崇州市、常德市武陵區(qū)、吉林市昌邑區(qū)
晉城市沁水縣、五指山市番陽、九江市武寧縣、玉溪市新平彝族傣族自治縣、岳陽市平江縣、湖州市長(zhǎng)興縣、青島市黃島區(qū)、晉中市和順縣、十堰市丹江口市
遼陽市白塔區(qū)、邵陽市洞口縣、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、四平市雙遼市、定西市臨洮縣、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)
東營市廣饒縣、益陽市沅江市、惠州市惠城區(qū)、孝感市云夢(mèng)縣、慶陽市正寧縣
昭通市巧家縣、泉州市惠安縣、天津市東麗區(qū)、贛州市尋烏縣、杭州市建德市、遵義市正安縣、白山市撫松縣、東營市墾利區(qū)、安康市紫陽縣、四平市梨樹縣
陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、甘孜色達(dá)縣、張掖市臨澤縣、廣西桂林市永?？h、東莞市高埗鎮(zhèn)、廣西賀州市鐘山縣、阿壩藏族羌族自治州理縣
永州市道縣、呂梁市交口縣、寧波市寧?？h、重慶市秀山縣、廣西河池市南丹縣、涼山會(huì)理市、廣西桂林市荔浦市、金華市浦江縣、六安市金寨縣
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宜昌市夷陵區(qū)、合肥市包河區(qū)、中山市沙溪鎮(zhèn)、金華市浦江縣、德州市德城區(qū)、紅河開遠(yuǎn)市
長(zhǎng)治市潞州區(qū)、佳木斯市樺川縣、惠州市惠東縣、南京市秦淮區(qū)、合肥市廬江縣、東莞市黃江鎮(zhèn)、青島市市北區(qū)、六安市霍山縣
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揭陽市榕城區(qū)、韶關(guān)市南雄市、黑河市北安市、資陽市安岳縣、臺(tái)州市天臺(tái)縣、湘西州吉首市
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昭通市永善縣、榆林市府谷縣、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、新鄉(xiāng)市衛(wèi)輝市、懷化市溆浦縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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