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周口市商水縣、昆明市嵩明縣、湘西州吉首市、廣西南寧市邕寧區(qū)、金華市永康市、九江市德安縣、北京市平谷區(qū)、溫州市龍灣區(qū)、玉溪市澄江市、吉安市安?？h
衡陽市衡南縣、渭南市韓城市、嘉峪關(guān)市新城鎮(zhèn)、梅州市大埔縣、廣西桂林市象山區(qū)、雙鴨山市尖山區(qū)、德州市陵城區(qū)、東莞市望牛墩鎮(zhèn)
撫州市樂安縣、南平市政和縣、淄博市桓臺(tái)縣、重慶市長壽區(qū)、沈陽市蘇家屯區(qū)、伊春市南岔縣、延邊延吉市
甘孜瀘定縣、孝感市孝南區(qū)、泰安市岱岳區(qū)、哈爾濱市道外區(qū)、昭通市昭陽區(qū)、黃山市屯溪區(qū)
達(dá)州市開江縣、煙臺(tái)市海陽市、贛州市崇義縣、盤錦市大洼區(qū)、德陽市旌陽區(qū)、阿壩藏族羌族自治州汶川縣、白城市鎮(zhèn)賚縣、宜賓市長寧縣、南京市雨花臺(tái)區(qū)、瀘州市江陽區(qū)
牡丹江市林口縣、蕪湖市弋江區(qū)、郴州市桂東縣、南昌市南昌縣、定安縣龍門鎮(zhèn)、南陽市方城縣、德州市樂陵市、漢中市城固縣、儋州市中和鎮(zhèn)、鐵嶺市銀州區(qū)
大同市平城區(qū)、舟山市嵊泗縣、長治市沁源縣、懷化市鶴城區(qū)、廣西桂林市靈川縣、大理賓川縣、廣西河池市天峨縣
東方市八所鎮(zhèn)、深圳市光明區(qū)、聊城市東昌府區(qū)、中山市小欖鎮(zhèn)、佳木斯市同江市、寧夏銀川市賀蘭縣、白山市渾江區(qū)、鄭州市新鄭市
涼山木里藏族自治縣、洛陽市老城區(qū)、杭州市桐廬縣、內(nèi)蒙古通遼市奈曼旗、許昌市建安區(qū)、池州市石臺(tái)縣、白山市長白朝鮮族自治縣、合肥市肥西縣、湖州市長興縣
汕尾市海豐縣、重慶市石柱土家族自治縣、天水市武山縣、雞西市密山市、濮陽市濮陽縣、文山馬關(guān)縣、金華市磐安縣、運(yùn)城市萬榮縣、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)
東莞市長安鎮(zhèn)、廣西柳州市柳江區(qū)、玉溪市易門縣、長春市二道區(qū)、楚雄元謀縣
懷化市新晃侗族自治縣、漢中市洋縣、西寧市湟源縣、咸陽市彬州市、洛陽市嵩縣、平頂山市汝州市、青島市萊西市、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)
徐州市泉山區(qū)、德州市夏津縣、南昌市新建區(qū)、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、運(yùn)城市絳縣、宣城市宣州區(qū)、晉中市昔陽縣、廣西梧州市蒙山縣
雅安市漢源縣、廣西北海市合浦縣、鞍山市立山區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、昆明市尋甸回族彝族自治縣、荊門市京山市、廣西北海市海城區(qū)、臨汾市翼城縣、本溪市溪湖區(qū)
臨汾市古縣、運(yùn)城市萬榮縣、衡陽市衡南縣、鹽城市響水縣、臨沂市平邑縣、白沙黎族自治縣南開鄉(xiāng)、酒泉市瓜州縣、淄博市淄川區(qū)、寶雞市麟游縣
六安市霍邱縣、中山市西區(qū)街道、泉州市泉港區(qū)、莆田市秀嶼區(qū)、廣西百色市靖西市、東莞市石碣鎮(zhèn)、深圳市龍華區(qū)
哈爾濱市道外區(qū)、海北門源回族自治縣、樂東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)、海東市循化撒拉族自治縣、廣西桂林市灌陽縣、梅州市梅縣區(qū)、周口市鄲城縣
臨沂市河?xùn)|區(qū)、平頂山市郟縣、海北海晏縣、陽江市陽東區(qū)、南通市海安市、長治市平順縣、蘭州市紅古區(qū)、南京市六合區(qū)、嘉興市南湖區(qū)
甘孜得榮縣、臨高縣臨城鎮(zhèn)、駐馬店市平輿縣、三明市建寧縣、重慶市開州區(qū)、白銀市景泰縣、延邊圖們市、麗水市景寧畬族自治縣
漯河市郾城區(qū)、四平市鐵西區(qū)、安陽市林州市、昆明市石林彝族自治縣、銅川市耀州區(qū)、哈爾濱市方正縣、定安縣黃竹鎮(zhèn)、五指山市番陽、鶴壁市山城區(qū)、臨沂市蘭陵縣
重慶市潼南區(qū)、東莞市常平鎮(zhèn)、眉山市丹棱縣、咸陽市禮泉縣、益陽市沅江市
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廣西南寧市上林縣、周口市太康縣、五指山市番陽、西安市長安區(qū)、綿陽市安州區(qū)、廣西玉林市陸川縣
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吉安市遂川縣、珠海市金灣區(qū)、天津市南開區(qū)、蘇州市常熟市、張家界市慈利縣、云浮市新興縣
臨汾市大寧縣、商丘市柘城縣、臨沂市蘭陵縣、海東市樂都區(qū)、九江市濂溪區(qū)、大同市廣靈縣、煙臺(tái)市萊州市、大理云龍縣、平頂山市石龍區(qū)
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綿陽市鹽亭縣、文昌市翁田鎮(zhèn)、渭南市潼關(guān)縣、長春市南關(guān)區(qū)、濱州市濱城區(qū)、鶴崗市興山區(qū)
開封市杞縣、雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)、咸陽市楊陵區(qū)、寧夏固原市隆德縣、長春市二道區(qū)、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣、臨滄市耿馬傣族佤族自治縣、臨汾市洪洞縣
嘉興市秀洲區(qū)、天津市東麗區(qū)、運(yùn)城市平陸縣、雙鴨山市寶山區(qū)、濟(jì)寧市泗水縣、宜春市奉新縣、上饒市弋陽縣、安慶市迎江區(qū)、宜春市高安市、大同市陽高縣
湖州市南潯區(qū)、東莞市南城街道、盤錦市盤山縣、臨汾市霍州市、武威市民勤縣、廣州市越秀區(qū)、銅仁市玉屏侗族自治縣
黃山市黃山區(qū)、宜春市上高縣、益陽市安化縣、楚雄姚安縣、德州市陵城區(qū)、嘉興市秀洲區(qū)、哈爾濱市通河縣、河源市龍川縣、內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)、隨州市隨縣
貴陽市花溪區(qū)、長春市九臺(tái)區(qū)、湘潭市岳塘區(qū)、湛江市遂溪縣、德州市陵城區(qū)、永州市零陵區(qū)
宣城市旌德縣、晉中市平遙縣、遵義市鳳岡縣、青島市嶗山區(qū)、恩施州巴東縣、甘南夏河縣、上海市徐匯區(qū)、北京市平谷區(qū)、贛州市贛縣區(qū)、溫州市鹿城區(qū)
牡丹江市海林市、延邊和龍市、大連市金州區(qū)、南平市武夷山市、上海市徐匯區(qū)、天津市津南區(qū)
重慶市沙坪壩區(qū)、萬寧市萬城鎮(zhèn)、上海市普陀區(qū)、許昌市襄城縣、果洛瑪沁縣、湛江市遂溪縣、泉州市南安市、屯昌縣新興鎮(zhèn)、婁底市新化縣、定安縣嶺口鎮(zhèn)
永州市江華瑤族自治縣、開封市禹王臺(tái)區(qū)、汕頭市澄海區(qū)、衡陽市祁東縣、南京市鼓樓區(qū)、武威市民勤縣、徐州市邳州市、齊齊哈爾市富?？h、廣西柳州市柳北區(qū)、天津市寶坻區(qū)
安陽市北關(guān)區(qū)、楚雄南華縣、沈陽市沈北新區(qū)、株洲市蘆淞區(qū)、萬寧市東澳鎮(zhèn)
武漢市黃陂區(qū)、甘孜新龍縣、廣西崇左市大新縣、濰坊市青州市、甘孜道孚縣、六盤水市盤州市、紅河蒙自市
安陽市內(nèi)黃縣、成都市金牛區(qū)、怒江傈僳族自治州福貢縣、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、涼山普格縣、三明市寧化縣、宜昌市當(dāng)陽市
漢中市留壩縣、儋州市排浦鎮(zhèn)、棗莊市臺(tái)兒莊區(qū)、阜陽市潁州區(qū)、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、濟(jì)南市鋼城區(qū)
咸陽市武功縣、朝陽市建平縣、常德市漢壽縣、武漢市硚口區(qū)、銅仁市石阡縣
濟(jì)南市歷城區(qū)、漯河市源匯區(qū)、海南興?？h、中山市民眾鎮(zhèn)、雞西市麻山區(qū)、延安市子長市
池州市貴池區(qū)、德州市齊河縣、上海市長寧區(qū)、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、漳州市華安縣、晉中市昔陽縣、河源市龍川縣、呂梁市臨縣、隴南市徽縣
宜春市萬載縣、泰安市寧陽縣、佛山市南海區(qū)、寶雞市鳳縣、忻州市靜樂縣、沈陽市于洪區(qū)、昭通市巧家縣
濱州市無棣縣、永州市寧遠(yuǎn)縣、天津市寧河區(qū)、金華市義烏市、錦州市黑山縣、廣西欽州市欽南區(qū)、湘潭市韶山市
六盤水市鐘山區(qū)、阜新市太平區(qū)、連云港市灌云縣、定安縣翰林鎮(zhèn)、廣西來賓市合山市
天水市張家川回族自治縣、天水市武山縣、文山硯山縣、瓊海市中原鎮(zhèn)、朔州市應(yīng)縣
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撫順市新賓滿族自治縣、重慶市酉陽縣、晉中市祁縣、萬寧市山根鎮(zhèn)、揚(yáng)州市儀征市、玉溪市新平彝族傣族自治縣、東莞市望牛墩鎮(zhèn)、臨沂市沂水縣、吉安市吉水縣
荊門市沙洋縣、婁底市雙峰縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗、黔東南劍河縣、漢中市南鄭區(qū)
恩施州咸豐縣、馬鞍山市含山縣、周口市鹿邑縣、甘孜德格縣、大連市瓦房店市、鄭州市鞏義市、蘭州市七里河區(qū)、樂東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)
銅仁市石阡縣、佳木斯市樺南縣、直轄縣仙桃市、平頂山市葉縣、濮陽市濮陽縣、隴南市成縣、常州市金壇區(qū)、臨汾市霍州市、隴南市文縣、陽泉市郊區(qū)
樂山市五通橋區(qū)、株洲市醴陵市、許昌市長葛市、中山市東區(qū)街道、濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣、文昌市抱羅鎮(zhèn)、榆林市米脂縣
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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