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大興安嶺地區(qū)漠河市、重慶市渝中區(qū)、大理彌渡縣、恩施州利川市、綿陽市三臺縣、平頂山市新華區(qū)、白銀市靖遠(yuǎn)縣、儋州市白馬井鎮(zhèn)
廣西桂林市龍勝各族自治縣、平?jīng)鍪徐`臺縣、三沙市南沙區(qū)、齊齊哈爾市泰來縣、天水市甘谷縣
新余市分宜縣、哈爾濱市通河縣、遼陽市宏偉區(qū)、齊齊哈爾市鐵鋒區(qū)、紅河瀘西縣、大連市甘井子區(qū)
甘孜得榮縣、金華市永康市、成都市成華區(qū)、鹽城市鹽都區(qū)、濟(jì)南市濟(jì)陽區(qū)
昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、雅安市寶興縣、廣西桂林市荔浦市、中山市東鳳鎮(zhèn)、葫蘆島市龍港區(qū)、德宏傣族景頗族自治州芒市、宜昌市猇亭區(qū)、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、菏澤市曹縣、天津市河西區(qū)
濟(jì)南市萊蕪區(qū)、黔西南安龍縣、內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)、無錫市宜興市、廣西桂林市恭城瑤族自治縣、舟山市定海區(qū)、平頂山市葉縣、吉林市永吉縣
蘇州市常熟市、南昌市青云譜區(qū)、上饒市玉山縣、濟(jì)南市歷城區(qū)、洛陽市洛寧縣、樂山市金口河區(qū)
海西蒙古族都蘭縣、呂梁市柳林縣、延安市志丹縣、武漢市武昌區(qū)、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、廣西貴港市桂平市、運(yùn)城市河津市
廣州市從化區(qū)、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣、深圳市坪山區(qū)、廣西百色市凌云縣、福州市永泰縣、廣西欽州市靈山縣、黔南甕安縣、安陽市文峰區(qū)、開封市鼓樓區(qū)、樂東黎族自治縣志仲鎮(zhèn)
佳木斯市前進(jìn)區(qū)、長治市潞城區(qū)、平?jīng)鍪谐缧趴h、淮南市八公山區(qū)、焦作市溫縣、東方市板橋鎮(zhèn)、平頂山市湛河區(qū)、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、臨汾市霍州市、慶陽市華池縣
內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、鹽城市建湖縣、南昌市新建區(qū)、福州市長樂區(qū)、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、大同市陽高縣、長治市黎城縣、阜新市阜新蒙古族自治縣、雙鴨山市饒河縣
泰州市泰興市、太原市迎澤區(qū)、鶴崗市興山區(qū)、長治市長子縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、鶴崗市興安區(qū)、廣西河池市宜州區(qū)、榆林市榆陽區(qū)、揭陽市惠來縣
瓊海市龍江鎮(zhèn)、撫順市望花區(qū)、上海市普陀區(qū)、白銀市平川區(qū)、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、合肥市廬陽區(qū)、洛陽市瀍河回族區(qū)
隴南市成縣、湖州市長興縣、馬鞍山市和縣、蘇州市虎丘區(qū)、四平市伊通滿族自治縣
邵陽市邵陽縣、岳陽市湘陰縣、廣西桂林市興安縣、平頂山市湛河區(qū)、福州市連江縣、廣西河池市鳳山縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、雙鴨山市寶清縣
恩施州來鳳縣、武漢市洪山區(qū)、綿陽市平武縣、溫州市泰順縣、郴州市汝城縣、長治市壺關(guān)縣、新余市渝水區(qū)、深圳市福田區(qū)
東莞市厚街鎮(zhèn)、綏化市望奎縣、佛山市順德區(qū)、焦作市武陟縣、荊門市掇刀區(qū)、南陽市淅川縣、南京市浦口區(qū)、煙臺市萊州市、撫州市資溪縣
內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市、蘇州市姑蘇區(qū)、屯昌縣楓木鎮(zhèn)、東營市廣饒縣、德州市武城縣、南平市武夷山市、平頂山市魯山縣、淮南市鳳臺縣、新鄉(xiāng)市獲嘉縣
開封市鼓樓區(qū)、南平市光澤縣、廣西河池市鳳山縣、臨沂市沂南縣、三明市泰寧縣
長治市武鄉(xiāng)縣、曲靖市馬龍區(qū)、鄭州市滎陽市、楚雄永仁縣、莆田市荔城區(qū)、信陽市平橋區(qū)、銅仁市玉屏侗族自治縣、內(nèi)蒙古包頭市東河區(qū)、昆明市嵩明縣、濟(jì)寧市嘉祥縣
涼山木里藏族自治縣、洛陽市老城區(qū)、杭州市桐廬縣、內(nèi)蒙古通遼市奈曼旗、許昌市建安區(qū)、池州市石臺縣、白山市長白朝鮮族自治縣、合肥市肥西縣、湖州市長興縣
遵義市紅花崗區(qū)、南陽市西峽縣、青島市城陽區(qū)、徐州市云龍區(qū)、宜昌市夷陵區(qū)、青島市市南區(qū)
武漢市江岸區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、曲靖市馬龍區(qū)、寧夏銀川市靈武市、蚌埠市蚌山區(qū)、儋州市王五鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、宜春市靖安縣、四平市伊通滿族自治縣、濱州市沾化區(qū)
新鄉(xiāng)市輝縣市、齊齊哈爾市泰來縣、煙臺市棲霞市、南京市棲霞區(qū)、內(nèi)江市市中區(qū)、南平市光澤縣、洛陽市洛寧縣、廣西玉林市玉州區(qū)、運(yùn)城市稷山縣
朔州市朔城區(qū)、哈爾濱市呼蘭區(qū)、荊門市京山市、馬鞍山市含山縣、廣州市從化區(qū)、普洱市墨江哈尼族自治縣、中山市五桂山街道、大連市沙河口區(qū)、南陽市南召縣、南京市六合區(qū)
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四平市公主嶺市、嘉興市南湖區(qū)、東莞市東城街道、濱州市鄒平市、忻州市五寨縣、新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、大慶市紅崗區(qū)
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白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、濱州市濱城區(qū)、昆明市東川區(qū)、池州市貴池區(qū)、自貢市富順縣、白銀市平川區(qū)
咸陽市興平市、郴州市桂陽縣、昆明市官渡區(qū)、齊齊哈爾市碾子山區(qū)、中山市小欖鎮(zhèn)、沈陽市渾南區(qū)
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普洱市西盟佤族自治縣、四平市伊通滿族自治縣、臨滄市耿馬傣族佤族自治縣、池州市青陽縣、臨夏和政縣、咸陽市禮泉縣、四平市鐵東區(qū)
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黔西南冊亨縣、晉城市城區(qū)、齊齊哈爾市建華區(qū)、西寧市大通回族土族自治縣、遂寧市蓬溪縣
揚(yáng)州市邗江區(qū)、廣西百色市田陽區(qū)、臨高縣調(diào)樓鎮(zhèn)、宜昌市興山縣、蘇州市吳江區(qū)、延安市甘泉縣、葫蘆島市綏中縣、天津市薊州區(qū)、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗
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邵陽市武岡市、新余市分宜縣、大慶市龍鳳區(qū)、臺州市三門縣、濱州市鄒平市、福州市晉安區(qū)、郴州市臨武縣、德州市平原縣、重慶市長壽區(qū)
荊州市監(jiān)利市、文昌市公坡鎮(zhèn)、贛州市定南縣、周口市鹿邑縣、重慶市開州區(qū)、隴南市禮縣、滁州市來安縣、駐馬店市平輿縣、中山市東區(qū)街道
甘孜得榮縣、中山市西區(qū)街道、榆林市神木市、楚雄武定縣、鐵嶺市開原市、綿陽市鹽亭縣、直轄縣天門市、大連市瓦房店市、淄博市沂源縣、廈門市思明區(qū)
畢節(jié)市納雍縣、黔東南劍河縣、內(nèi)蒙古赤峰市元寶山區(qū)、黔東南施秉縣、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、武漢市漢陽區(qū)、宜昌市枝江市、涼山冕寧縣、湘西州吉首市
呂梁市交城縣、洛陽市澗西區(qū)、十堰市竹溪縣、葫蘆島市連山區(qū)、北京市石景山區(qū)、銅仁市江口縣、寶雞市千陽縣、德陽市羅江區(qū)、德州市慶云縣
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宜昌市遠(yuǎn)安縣、福州市閩侯縣、通化市二道江區(qū)、廣西河池市都安瑤族自治縣、煙臺市萊陽市、成都市金牛區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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