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蕪湖市無(wú)為市、廣西百色市田陽(yáng)區(qū)、龍巖市永定區(qū)、甘孜色達(dá)縣、南平市延平區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正藍(lán)旗
泰州市泰興市、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、廣州市從化區(qū)、甘南卓尼縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、泉州市石獅市
寧夏中衛(wèi)市海原縣、東方市感城鎮(zhèn)、昆明市晉寧區(qū)、黔東南岑鞏縣、天津市濱海新區(qū)、珠海市金灣區(qū)、上海市崇明區(qū)
周口市太康縣、濰坊市昌樂(lè)縣、韶關(guān)市曲江區(qū)、儋州市光村鎮(zhèn)、畢節(jié)市金沙縣、淄博市張店區(qū)、涼山雷波縣、廣西百色市右江區(qū)、昆明市安寧市、淮安市盱眙縣
文昌市會(huì)文鎮(zhèn)、廣州市天河區(qū)、馬鞍山市當(dāng)涂縣、銅仁市萬(wàn)山區(qū)、無(wú)錫市江陰市、涼山雷波縣、重慶市長(zhǎng)壽區(qū)、湘西州花垣縣、綿陽(yáng)市游仙區(qū)
杭州市淳安縣、三亞市崖州區(qū)、文昌市潭牛鎮(zhèn)、宜春市銅鼓縣、菏澤市鄄城縣
泉州市泉港區(qū)、佛山市三水區(qū)、撫州市南豐縣、牡丹江市海林市、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、麗水市慶元縣
涼山甘洛縣、南通市通州區(qū)、白城市大安市、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、黃岡市麻城市、黔東南從江縣、延邊琿春市、鐵嶺市鐵嶺縣、雞西市雞東縣、太原市迎澤區(qū)
北京市石景山區(qū)、金華市婺城區(qū)、贛州市于都縣、儋州市大成鎮(zhèn)、臨沂市郯城縣、南昌市灣里區(qū)、廣西崇左市龍州縣、淮南市田家庵區(qū)
牡丹江市林口縣、黔東南丹寨縣、鶴崗市南山區(qū)、涼山會(huì)東縣、懷化市中方縣、宿遷市沭陽(yáng)縣、麗江市古城區(qū)、甘孜白玉縣、贛州市上猶縣、阜新市海州區(qū)
黔南甕安縣、延邊安圖縣、邵陽(yáng)市洞口縣、焦作市博愛(ài)縣、昆明市石林彝族自治縣、大連市長(zhǎng)?？h
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、商丘市虞城縣、鶴壁市浚縣、銅仁市玉屏侗族自治縣、無(wú)錫市江陰市、西寧市湟中區(qū)、杭州市濱江區(qū)
樂(lè)東黎族自治縣萬(wàn)沖鎮(zhèn)、云浮市郁南縣、合肥市廬陽(yáng)區(qū)、鐵嶺市銀州區(qū)、新鄉(xiāng)市原陽(yáng)縣、西安市灞橋區(qū)、濟(jì)南市鋼城區(qū)
寶雞市眉縣、青島市膠州市、信陽(yáng)市浉河區(qū)、永州市江華瑤族自治縣、大慶市龍鳳區(qū)、鶴壁市淇濱區(qū)、湛江市徐聞縣、昭通市鹽津縣、長(zhǎng)治市潞城區(qū)
甘孜九龍縣、黔南羅甸縣、哈爾濱市雙城區(qū)、海西蒙古族德令哈市、咸寧市崇陽(yáng)縣
瓊海市會(huì)山鎮(zhèn)、衡陽(yáng)市衡山縣、貴陽(yáng)市烏當(dāng)區(qū)、煙臺(tái)市芝罘區(qū)、菏澤市曹縣、銅川市耀州區(qū)、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)、阜新市阜新蒙古族自治縣、濱州市陽(yáng)信縣
商洛市丹鳳縣、果洛甘德縣、萬(wàn)寧市南橋鎮(zhèn)、菏澤市牡丹區(qū)、信陽(yáng)市光山縣
紅河蒙自市、海南貴德縣、重慶市開(kāi)州區(qū)、云浮市新興縣、淮南市潘集區(qū)、涼山甘洛縣、襄陽(yáng)市宜城市、樂(lè)山市夾江縣、襄陽(yáng)市南漳縣
涼山會(huì)東縣、煙臺(tái)市棲霞市、朝陽(yáng)市建平縣、畢節(jié)市黔西市、徐州市賈汪區(qū)、寧夏中衛(wèi)市沙坡頭區(qū)、營(yíng)口市站前區(qū)、甘孜九龍縣、青島市平度市、通化市集安市
樂(lè)東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、淄博市高青縣、眉山市仁壽縣、麗江市永勝縣、株洲市醴陵市、合肥市肥東縣、安慶市望江縣
開(kāi)封市蘭考縣、北京市大興區(qū)、海東市民和回族土族自治縣、臨汾市蒲縣、衢州市常山縣、北京市延慶區(qū)、張掖市肅南裕固族自治縣
廣元市昭化區(qū)、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、瀘州市江陽(yáng)區(qū)、嘉興市秀洲區(qū)、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、茂名市電白區(qū)、咸陽(yáng)市禮泉縣、文昌市馮坡鎮(zhèn)
焦作市博愛(ài)縣、上海市黃浦區(qū)、撫順市新賓滿族自治縣、四平市鐵東區(qū)、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、重慶市彭水苗族土家族自治縣、吉林市船營(yíng)區(qū)、寧夏吳忠市鹽池縣
恩施州宣恩縣、渭南市蒲城縣、七臺(tái)河市勃利縣、衡陽(yáng)市祁東縣、麗江市永勝縣、徐州市睢寧縣、韶關(guān)市翁源縣、沈陽(yáng)市大東區(qū)、黔南羅甸縣
臨汾市洪洞縣、威海市乳山市、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟太仆寺旗、福州市馬尾區(qū)、襄陽(yáng)市棗陽(yáng)市、上海市金山區(qū)、駐馬店市新蔡縣、韶關(guān)市翁源縣
長(zhǎng)春市綠園區(qū)、廣西北海市海城區(qū)、遵義市綏陽(yáng)縣、遂寧市蓬溪縣、宜昌市西陵區(qū)
麗江市華坪縣、遵義市習(xí)水縣、畢節(jié)市赫章縣、陵水黎族自治縣本號(hào)鎮(zhèn)、萬(wàn)寧市北大鎮(zhèn)、丹東市東港市、臨汾市鄉(xiāng)寧縣
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營(yíng)口市蓋州市、紹興市嵊州市、萬(wàn)寧市大茂鎮(zhèn)、綏化市明水縣、棗莊市山亭區(qū)、潮州市湘橋區(qū)、瓊海市陽(yáng)江鎮(zhèn)、樂(lè)山市峨邊彝族自治縣
青島市即墨區(qū)、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、恩施州利川市、大同市新榮區(qū)、河源市和平縣、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)、衢州市江山市
景德鎮(zhèn)市浮梁縣、咸寧市崇陽(yáng)縣、鷹潭市月湖區(qū)、大慶市龍鳳區(qū)、岳陽(yáng)市汨羅市
黃石市黃石港區(qū)、阜新市彰武縣、陽(yáng)泉市盂縣、東莞市茶山鎮(zhèn)、南陽(yáng)市鎮(zhèn)平縣、濮陽(yáng)市清豐縣、荊門(mén)市鐘祥市、紹興市上虞區(qū)
內(nèi)蒙古呼和浩特市賽罕區(qū)、張掖市肅南裕固族自治縣、張掖市民樂(lè)縣、南昌市西湖區(qū)、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣、十堰市房縣、隴南市禮縣、黑河市五大連池市、鹽城市阜寧縣、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市
東莞市道滘鎮(zhèn)、淄博市淄川區(qū)、懷化市沅陵縣、煙臺(tái)市龍口市、婁底市漣源市
忻州市寧武縣、中山市沙溪鎮(zhèn)、岳陽(yáng)市臨湘市、日照市莒縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市回民區(qū)、南京市江寧區(qū)
成都市蒲江縣、貴陽(yáng)市云巖區(qū)、廣州市黃埔區(qū)、白山市渾江區(qū)、阜新市太平區(qū)、株洲市炎陵縣、蘇州市虎丘區(qū)、廣西南寧市邕寧區(qū)
鶴崗市興安區(qū)、沈陽(yáng)市皇姑區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)、樂(lè)東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古包頭市固陽(yáng)縣、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、本溪市南芬區(qū)、廣西百色市隆林各族自治縣、天津市西青區(qū)、襄陽(yáng)市襄城區(qū)
駐馬店市驛城區(qū)、福州市鼓樓區(qū)、衡陽(yáng)市雁峰區(qū)、汕頭市濠江區(qū)、昆明市西山區(qū)、瓊海市長(zhǎng)坡鎮(zhèn)、無(wú)錫市濱湖區(qū)、福州市連江縣
六安市霍邱縣、濟(jì)寧市微山縣、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、盤(pán)錦市大洼區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)、晉中市和順縣、信陽(yáng)市浉河區(qū)、平頂山市舞鋼市、廣西南寧市橫州市、黑河市嫩江市
惠州市惠城區(qū)、黔東南天柱縣、宿州市碭山縣、漢中市略陽(yáng)縣、安陽(yáng)市安陽(yáng)縣、安康市白河縣、四平市鐵東區(qū)
運(yùn)城市河津市、海東市互助土族自治縣、漳州市龍文區(qū)、寧夏石嘴山市平羅縣、商丘市睢陽(yáng)區(qū)、信陽(yáng)市潢川縣
云浮市羅定市、臺(tái)州市臨海市、杭州市桐廬縣、哈爾濱市道外區(qū)、佛山市禪城區(qū)、河源市連平縣
哈爾濱市道外區(qū)、長(zhǎng)春市九臺(tái)區(qū)、南陽(yáng)市社旗縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)、襄陽(yáng)市棗陽(yáng)市
果洛瑪沁縣、楚雄南華縣、鐵嶺市鐵嶺縣、無(wú)錫市惠山區(qū)、文昌市會(huì)文鎮(zhèn)、眉山市丹棱縣
韶關(guān)市始興縣、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、長(zhǎng)治市平順縣、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、永州市江永縣、黔東南錦屏縣、甘南迭部縣、吉安市青原區(qū)、延安市寶塔區(qū)、運(yùn)城市新絳縣
梅州市興寧市、樂(lè)東黎族自治縣利國(guó)鎮(zhèn)、寧夏銀川市靈武市、東營(yíng)市利津縣、宜昌市五峰土家族自治縣、銅仁市碧江區(qū)、沈陽(yáng)市大東區(qū)、佳木斯市樺南縣、東莞市南城街道、上海市徐匯區(qū)
鎮(zhèn)江市句容市、遼陽(yáng)市燈塔市、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)、淄博市沂源縣、黃山市休寧縣、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、淄博市博山區(qū)、中山市大涌鎮(zhèn)、北京市平谷區(qū)
上海市黃浦區(qū)、成都市都江堰市、延安市吳起縣、牡丹江市愛(ài)民區(qū)、上海市崇明區(qū)、銅仁市江口縣、宜昌市西陵區(qū)、定西市渭源縣、西安市蓮湖區(qū)、黔南甕安縣
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、定西市漳縣、泉州市豐澤區(qū)、葫蘆島市建昌縣、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、廣西柳州市魚(yú)峰區(qū)、永州市道縣、安康市嵐皋縣、慶陽(yáng)市慶城縣
涼山會(huì)東縣、遼源市東豐縣、重慶市武隆區(qū)、寧德市蕉城區(qū)、忻州市靜樂(lè)縣、東莞市石排鎮(zhèn)、紅河瀘西縣
煙臺(tái)市萊陽(yáng)市、楚雄大姚縣、銅仁市碧江區(qū)、江門(mén)市蓬江區(qū)、廣西百色市田陽(yáng)區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)、新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市
安順市西秀區(qū)、長(zhǎng)治市潞城區(qū)、蕪湖市鏡湖區(qū)、贛州市上猶縣、西安市臨潼區(qū)
內(nèi)蒙古呼和浩特市土默特左旗、海東市平安區(qū)、淄博市淄川區(qū)、溫州市龍港市、懷化市中方縣、咸寧市嘉魚(yú)縣、撫州市金溪縣、連云港市海州區(qū)、寧夏吳忠市同心縣
儋州市那大鎮(zhèn)、定西市岷縣、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、七臺(tái)河市新興區(qū)、揭陽(yáng)市惠來(lái)縣
牡丹江市海林市、伊春市鐵力市、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、樂(lè)東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、杭州市西湖區(qū)、內(nèi)江市市中區(qū)、棗莊市嶧城區(qū)、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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