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昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、寧德市壽寧縣、長(zhǎng)春市二道區(qū)、哈爾濱市阿城區(qū)、涼山甘洛縣、咸寧市通山縣、合肥市巢湖市、新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)、廣西崇左市寧明縣
清遠(yuǎn)市佛岡縣、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)、中山市港口鎮(zhèn)、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣、運(yùn)城市芮城縣、淮安市盱眙縣、南陽(yáng)市唐河縣、忻州市定襄縣
海南貴南縣、寶雞市渭濱區(qū)、遵義市湄潭縣、廣西南寧市江南區(qū)、本溪市桓仁滿族自治縣、榆林市子洲縣、臨汾市侯馬市、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、金華市婺城區(qū)
孝感市云夢(mèng)縣、臨高縣波蓮鎮(zhèn)、鞍山市海城市、濰坊市昌邑市、衡陽(yáng)市衡陽(yáng)縣、成都市金牛區(qū)、天水市秦安縣、安康市平利縣、中山市三角鎮(zhèn)
儋州市木棠鎮(zhèn)、漢中市留壩縣、溫州市鹿城區(qū)、漯河市舞陽(yáng)縣、安陽(yáng)市北關(guān)區(qū)、漯河市郾城區(qū)、佳木斯市樺南縣
酒泉市肅北蒙古族自治縣、肇慶市高要區(qū)、湘潭市湘鄉(xiāng)市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克前旗、南京市秦淮區(qū)、安慶市桐城市、菏澤市牡丹區(qū)、昆明市晉寧區(qū)
黃石市下陸區(qū)、牡丹江市綏芬河市、寧德市霞浦縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗、陽(yáng)泉市郊區(qū)、延邊龍井市、隨州市隨縣、焦作市解放區(qū)
景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、湘西州龍山縣、開(kāi)封市鼓樓區(qū)、牡丹江市寧安市、宜春市奉新縣、營(yíng)口市站前區(qū)
文昌市錦山鎮(zhèn)、寧夏中衛(wèi)市沙坡頭區(qū)、九江市共青城市、襄陽(yáng)市南漳縣、天津市靜海區(qū)、海北祁連縣、晉城市沁水縣、忻州市五臺(tái)縣
內(nèi)江市東興區(qū)、西雙版納景洪市、荊門市掇刀區(qū)、郴州市桂陽(yáng)縣、寧德市柘榮縣、合肥市肥西縣、寶雞市千陽(yáng)縣、儋州市新州鎮(zhèn)、孝感市孝昌縣、儋州市海頭鎮(zhèn)
寧夏固原市彭陽(yáng)縣、蚌埠市蚌山區(qū)、淮安市淮安區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗、內(nèi)蒙古通遼市霍林郭勒市、廣西玉林市博白縣、上海市普陀區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣志仲鎮(zhèn)
徐州市泉山區(qū)、德州市夏津縣、南昌市新建區(qū)、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、運(yùn)城市絳縣、宣城市宣州區(qū)、晉中市昔陽(yáng)縣、廣西梧州市蒙山縣
鶴壁市淇濱區(qū)、德州市慶云縣、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)、廣西河池市南丹縣、鹽城市阜寧縣、蕪湖市鏡湖區(qū)、湖州市安吉縣、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)
亳州市蒙城縣、運(yùn)城市芮城縣、雙鴨山市嶺東區(qū)、伊春市友好區(qū)、樂(lè)山市沐川縣、隴南市西和縣、海西蒙古族烏蘭縣
益陽(yáng)市沅江市、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)、黃岡市浠水縣、泰州市姜堰區(qū)、儋州市排浦鎮(zhèn)、黔南三都水族自治縣、肇慶市德慶縣、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、南平市建甌市、開(kāi)封市通許縣
大理永平縣、衢州市龍游縣、廣西玉林市博白縣、本溪市南芬區(qū)、紹興市越城區(qū)、邵陽(yáng)市北塔區(qū)、德州市齊河縣、黃石市大冶市、東莞市洪梅鎮(zhèn)
天津市南開(kāi)區(qū)、臨汾市古縣、北京市大興區(qū)、海西蒙古族都蘭縣、撫順市東洲區(qū)、濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣
大連市普蘭店區(qū)、忻州市定襄縣、丹東市振興區(qū)、蘭州市七里河區(qū)、武漢市東西湖區(qū)
宣城市宣州區(qū)、廣西欽州市靈山縣、儋州市和慶鎮(zhèn)、西安市臨潼區(qū)、臨滄市鎮(zhèn)康縣、雅安市漢源縣
咸陽(yáng)市淳化縣、牡丹江市林口縣、酒泉市肅州區(qū)、紹興市新昌縣、重慶市墊江縣、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、海東市化隆回族自治縣、丹東市元寶區(qū)
鎮(zhèn)江市句容市、福州市晉安區(qū)、忻州市五寨縣、果洛達(dá)日縣、駐馬店市泌陽(yáng)縣、廣西桂林市雁山區(qū)、通化市東昌區(qū)、德州市夏津縣、寧夏固原市涇源縣、日照市五蓮縣
潮州市湘橋區(qū)、蘭州市安寧區(qū)、廣安市華鎣市、肇慶市四會(huì)市、宜賓市南溪區(qū)、杭州市蕭山區(qū)、韶關(guān)市新豐縣
海南同德縣、岳陽(yáng)市湘陰縣、定安縣翰林鎮(zhèn)、紹興市嵊州市、常德市津市市、瓊海市石壁鎮(zhèn)、永州市雙牌縣
陽(yáng)泉市平定縣、呂梁市石樓縣、聊城市莘縣、孝感市安陸市、泉州市鯉城區(qū)、鞍山市海城市、西安市鄠邑區(qū)
上饒市余干縣、杭州市拱墅區(qū)、咸陽(yáng)市旬邑縣、萬(wàn)寧市長(zhǎng)豐鎮(zhèn)、上海市閔行區(qū)、蘇州市相城區(qū)、西安市未央?yún)^(qū)、丹東市東港市
天津市武清區(qū)、東營(yíng)市廣饒縣、中山市黃圃鎮(zhèn)、廣西柳州市鹿寨縣、菏澤市鄄城縣、廣西百色市樂(lè)業(yè)縣、蘇州市姑蘇區(qū)
株洲市淥口區(qū)、海西蒙古族德令哈市、鶴崗市南山區(qū)、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、長(zhǎng)沙市瀏陽(yáng)市、銅仁市石阡縣、青島市市南區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市豐鎮(zhèn)市、宜賓市敘州區(qū)
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遼源市西安區(qū)、廣西桂林市興安縣、曲靖市沾益區(qū)、泉州市南安市、寧夏銀川市靈武市
南陽(yáng)市唐河縣、大理大理市、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、漢中市漢臺(tái)區(qū)、紅河紅河縣、廣西賀州市昭平縣
吉安市廬陵新區(qū)、南充市閬中市、蕪湖市鳩江區(qū)、重慶市綦江區(qū)、淄博市淄川區(qū)、廣西崇左市大新縣、中山市港口鎮(zhèn)、本溪市南芬區(qū)、鄭州市登封市
淄博市沂源縣、阜新市阜新蒙古族自治縣、文昌市錦山鎮(zhèn)、果洛久治縣、聊城市高唐縣、成都市金牛區(qū)、果洛甘德縣、葫蘆島市興城市
定西市安定區(qū)、儋州市那大鎮(zhèn)、煙臺(tái)市芝罘區(qū)、大理巍山彝族回族自治縣、長(zhǎng)沙市雨花區(qū)、安慶市宿松縣、重慶市大足區(qū)、伊春市鐵力市、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)、濰坊市濰城區(qū)
駐馬店市遂平縣、漳州市云霄縣、三明市沙縣區(qū)、齊齊哈爾市克山縣、楚雄元謀縣、廣西百色市德?？h、昭通市鹽津縣
晉中市左權(quán)縣、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、周口市項(xiàng)城市、白城市通榆縣、南充市營(yíng)山縣、菏澤市鄄城縣、涼山越西縣
汕頭市澄海區(qū)、咸陽(yáng)市乾縣、漯河市舞陽(yáng)縣、寧夏石嘴山市平羅縣、嘉峪關(guān)市峪泉鎮(zhèn)、安陽(yáng)市林州市、漳州市華安縣、臨夏臨夏市
臨汾市古縣、徐州市鼓樓區(qū)、長(zhǎng)春市雙陽(yáng)區(qū)、五指山市番陽(yáng)、廈門市集美區(qū)、太原市萬(wàn)柏林區(qū)、天津市南開(kāi)區(qū)
安慶市太湖縣、紅河彌勒市、廣西北海市銀海區(qū)、慶陽(yáng)市慶城縣、信陽(yáng)市羅山縣、雅安市名山區(qū)、陵水黎族自治縣本號(hào)鎮(zhèn)
重慶市城口縣、邵陽(yáng)市綏寧縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、阜陽(yáng)市潁泉區(qū)、廣西百色市田陽(yáng)區(qū)、杭州市濱江區(qū)、佳木斯市東風(fēng)區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市土默特右旗、重慶市潼南區(qū)、遵義市紅花崗區(qū)
上海市奉賢區(qū)、許昌市禹州市、儋州市中和鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市阿魯科爾沁旗、五指山市毛陽(yáng)、屯昌縣新興鎮(zhèn)、泉州市惠安縣
吉安市峽江縣、鶴壁市山城區(qū)、巴中市恩陽(yáng)區(qū)、東莞市麻涌鎮(zhèn)、西安市長(zhǎng)安區(qū)、淮安市洪澤區(qū)、蕪湖市鏡湖區(qū)、北京市門頭溝區(qū)
宜春市高安市、寧夏銀川市金鳳區(qū)、鶴壁市鶴山區(qū)、寧波市慈溪市、撫州市樂(lè)安縣、達(dá)州市通川區(qū)、汕頭市澄海區(qū)、白山市渾江區(qū)
邵陽(yáng)市洞口縣、玉溪市峨山彝族自治縣、河源市龍川縣、寧夏固原市涇源縣、紅河河口瑤族自治縣、寧波市象山縣、安慶市迎江區(qū)、儋州市新州鎮(zhèn)
畢節(jié)市赫章縣、武漢市東西湖區(qū)、白山市靖宇縣、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)、重慶市梁平區(qū)、廣州市增城區(qū)、咸陽(yáng)市武功縣、婁底市漣源市、廣州市越秀區(qū)
安順市西秀區(qū)、昆明市安寧市、襄陽(yáng)市樊城區(qū)、太原市婁煩縣、宜春市上高縣、安陽(yáng)市北關(guān)區(qū)、莆田市仙游縣
宣城市旌德縣、曲靖市馬龍區(qū)、云浮市郁南縣、梅州市大埔縣、內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、廣西梧州市藤縣
深圳市龍崗區(qū)、海西蒙古族烏蘭縣、淄博市淄川區(qū)、臨夏永靖縣、運(yùn)城市萬(wàn)榮縣、錦州市凌河區(qū)、信陽(yáng)市光山縣、晉城市沁水縣
徐州市沛縣、伊春市友好區(qū)、屯昌縣坡心鎮(zhèn)、邵陽(yáng)市北塔區(qū)、朝陽(yáng)市雙塔區(qū)
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市五原縣、贛州市石城縣、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、南昌市新建區(qū)、北京市密云區(qū)、福州市福清市、文山富寧縣、宜賓市敘州區(qū)
新鄉(xiāng)市衛(wèi)輝市、甘南臨潭縣、寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)、遵義市匯川區(qū)、白銀市景泰縣、廈門市思明區(qū)、晉城市高平市、平頂山市湛河區(qū)、紅河綠春縣、黃岡市紅安縣
撫州市黎川縣、駐馬店市平輿縣、臨汾市鄉(xiāng)寧縣、廣西桂林市荔浦市、長(zhǎng)治市武鄉(xiāng)縣、渭南市華州區(qū)、泉州市泉港區(qū)、大慶市肇源縣
陵水黎族自治縣本號(hào)鎮(zhèn)、鹽城市鹽都區(qū)、郴州市資興市、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市五原縣、臨高縣南寶鎮(zhèn)
東莞市麻涌鎮(zhèn)、長(zhǎng)治市黎城縣、文山馬關(guān)縣、臨滄市鳳慶縣、大理祥云縣
阿壩藏族羌族自治州金川縣、贛州市章貢區(qū)、攀枝花市西區(qū)、漢中市留壩縣、寧波市寧海縣
溫州市龍灣區(qū)、常德市鼎城區(qū)、成都市金牛區(qū)、廣西南寧市青秀區(qū)、襄陽(yáng)市襄城區(qū)
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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