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六盤水市盤州市、昭通市昭陽區(qū)、西寧市城東區(qū)、安康市寧陜縣、忻州市河曲縣、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)、海南共和縣、長(zhǎng)治市潞城區(qū)
文昌市蓬萊鎮(zhèn)、廣西桂林市靈川縣、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、銅陵市樅陽縣、儋州市排浦鎮(zhèn)、西寧市湟中區(qū)
新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、七臺(tái)河市新興區(qū)、廣元市蒼溪縣、株洲市天元區(qū)、駐馬店市上蔡縣、澄邁縣瑞溪鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)
葫蘆島市龍港區(qū)、儋州市海頭鎮(zhèn)、銅仁市印江縣、大理洱源縣、云浮市郁南縣、平?jīng)鍪谐缧趴h、廣西賀州市平桂區(qū)、玉溪市江川區(qū)、重慶市江津區(qū)
湛江市廉江市、宿遷市宿城區(qū)、焦作市沁陽市、廣州市黃埔區(qū)、新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)、駐馬店市平輿縣、儋州市新州鎮(zhèn)、佳木斯市樺川縣、西寧市大通回族土族自治縣、南京市玄武區(qū)
襄陽市襄城區(qū)、甘孜色達(dá)縣、衡陽市蒸湘區(qū)、咸陽市三原縣、平頂山市舞鋼市、西寧市城中區(qū)、雅安市雨城區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗、安慶市桐城市
吉林市豐滿區(qū)、廣西桂林市永?？h、瓊海市大路鎮(zhèn)、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、泉州市洛江區(qū)、韶關(guān)市南雄市、重慶市璧山區(qū)
鶴壁市?？h、寧夏銀川市永寧縣、天水市甘谷縣、濟(jì)南市平陰縣、揭陽市惠來縣
六安市葉集區(qū)、五指山市南圣、廣西百色市田陽區(qū)、金華市金東區(qū)、本溪市溪湖區(qū)、成都市龍泉驛區(qū)
儋州市木棠鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古包頭市土默特右旗、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、沈陽市蘇家屯區(qū)、酒泉市肅州區(qū)、平頂山市寶豐縣、四平市鐵西區(qū)、湘潭市韶山市、惠州市博羅縣、江門市臺(tái)山市
定安縣新竹鎮(zhèn)、伊春市伊美區(qū)、寧德市屏南縣、駐馬店市新蔡縣、十堰市張灣區(qū)、甘南卓尼縣、中山市小欖鎮(zhèn)、莆田市荔城區(qū)、重慶市長(zhǎng)壽區(qū)
甘孜白玉縣、銅川市王益區(qū)、陽泉市郊區(qū)、盤錦市盤山縣、綏化市明水縣
鶴崗市南山區(qū)、開封市禹王臺(tái)區(qū)、澄邁縣加樂鎮(zhèn)、萬寧市北大鎮(zhèn)、沈陽市和平區(qū)、廣西百色市西林縣、無錫市新吳區(qū)、十堰市房縣
鷹潭市貴溪市、西安市鄠邑區(qū)、廣西南寧市邕寧區(qū)、焦作市馬村區(qū)、晉中市太谷區(qū)、汕頭市濠江區(qū)、溫州市鹿城區(qū)、海南貴德縣、屯昌縣楓木鎮(zhèn)、煙臺(tái)市芝罘區(qū)
忻州市定襄縣、廣西百色市右江區(qū)、吉安市萬安縣、黑河市愛輝區(qū)、三明市尤溪縣、紅河建水縣
信陽市光山縣、寶雞市鳳翔區(qū)、麗水市云和縣、遼源市東豐縣、咸寧市通城縣、成都市青羊區(qū)、上海市閔行區(qū)、淮安市漣水縣
淮安市淮陰區(qū)、儋州市白馬井鎮(zhèn)、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、大理云龍縣、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)
葫蘆島市南票區(qū)、定安縣富文鎮(zhèn)、玉樹稱多縣、沈陽市于洪區(qū)、遼源市東豐縣、駐馬店市上蔡縣、雅安市寶興縣
紅河元陽縣、九江市柴桑區(qū)、撫順市順城區(qū)、江門市開平市、恩施州咸豐縣、寧夏銀川市賀蘭縣、哈爾濱市依蘭縣、達(dá)州市宣漢縣、楚雄雙柏縣、周口市淮陽區(qū)
雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)、池州市貴池區(qū)、莆田市仙游縣、定西市通渭縣、重慶市黔江區(qū)、西寧市城北區(qū)、儋州市新州鎮(zhèn)、榆林市綏德縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市商都縣、潮州市饒平縣
福州市臺(tái)江區(qū)、定安縣富文鎮(zhèn)、沈陽市鐵西區(qū)、宜賓市興文縣、寶雞市扶風(fēng)縣、懷化市靖州苗族侗族自治縣、廣西賀州市富川瑤族自治縣、寧德市屏南縣、儋州市蘭洋鎮(zhèn)
平頂山市汝州市、濱州市沾化區(qū)、紹興市諸暨市、濟(jì)南市商河縣、白銀市平川區(qū)、濰坊市高密市、黃石市陽新縣、六安市金寨縣
東方市感城鎮(zhèn)、黃山市徽州區(qū)、哈爾濱市松北區(qū)、荊州市沙市區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特左旗、寧波市北侖區(qū)、寧夏固原市西吉縣、牡丹江市西安區(qū)、惠州市惠東縣
上海市黃浦區(qū)、漯河市源匯區(qū)、西安市高陵區(qū)、重慶市梁平區(qū)、安康市紫陽縣、天津市西青區(qū)、海西蒙古族格爾木市、廣西河池市東蘭縣
松原市長(zhǎng)嶺縣、六盤水市鐘山區(qū)、太原市婁煩縣、樂山市犍為縣、麗水市慶元縣
南陽市南召縣、六安市霍山縣、黔西南望謨縣、宣城市廣德市、內(nèi)蒙古興安盟扎賚特旗、金華市婺城區(qū)
內(nèi)蒙古通遼市庫倫旗、荊門市沙洋縣、伊春市豐林縣、黃南尖扎縣、黃岡市黃州區(qū)、煙臺(tái)市蓬萊區(qū)、荊州市松滋市
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玉溪市紅塔區(qū)、湘潭市岳塘區(qū)、永州市江永縣、中山市五桂山街道、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、中山市神灣鎮(zhèn)、臨高縣南寶鎮(zhèn)、東莞市塘廈鎮(zhèn)、通化市柳河縣
安康市寧陜縣、東莞市黃江鎮(zhèn)、溫州市永嘉縣、萬寧市南橋鎮(zhèn)、宜春市袁州區(qū)
大興安嶺地區(qū)加格達(dá)奇區(qū)、佳木斯市湯原縣、東莞市寮步鎮(zhèn)、麗水市景寧畬族自治縣、徐州市豐縣、日照市嵐山區(qū)、白山市江源區(qū)、鄭州市登封市、惠州市博羅縣、孝感市云夢(mèng)縣
衡陽市耒陽市、東莞市石排鎮(zhèn)、咸陽市興平市、臨汾市襄汾縣、泰州市泰興市、湛江市坡頭區(qū)、德州市寧津縣、西安市高陵區(qū)、哈爾濱市道外區(qū)
常州市新北區(qū)、葫蘆島市建昌縣、寧波市鎮(zhèn)海區(qū)、晉中市榆社縣、文昌市東路鎮(zhèn)、臨汾市侯馬市、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、重慶市榮昌區(qū)
駐馬店市確山縣、黑河市五大連池市、清遠(yuǎn)市陽山縣、楚雄祿豐市、淮安市淮安區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正鑲白旗、蚌埠市龍子湖區(qū)
文昌市翁田鎮(zhèn)、紅河彌勒市、西安市新城區(qū)、婁底市冷水江市、長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)、綿陽市平武縣、太原市晉源區(qū)
焦作市馬村區(qū)、杭州市臨安區(qū)、青島市黃島區(qū)、臨滄市臨翔區(qū)、瓊海市潭門鎮(zhèn)、北京市大興區(qū)
金華市義烏市、麗水市縉云縣、重慶市北碚區(qū)、銅陵市義安區(qū)、鄭州市上街區(qū)
眉山市丹棱縣、甘孜雅江縣、蘇州市姑蘇區(qū)、銅仁市思南縣、東營市利津縣、三亞市天涯區(qū)、定安縣新竹鎮(zhèn)
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濱州市鄒平市、新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)、阜陽市界首市、涼山喜德縣、本溪市平山區(qū)、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)、海南同德縣
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東莞市塘廈鎮(zhèn)、平頂山市郟縣、吉安市井岡山市、寧波市鎮(zhèn)海區(qū)、長(zhǎng)治市沁源縣、雞西市雞冠區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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