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內(nèi)江市資中縣、涼山甘洛縣、重慶市璧山區(qū)、安康市漢陰縣、涼山昭覺縣、重慶市大足區(qū)、白山市長白朝鮮族自治縣、溫州市平陽縣、遵義市鳳岡縣
寧夏中衛(wèi)市中寧縣、池州市貴池區(qū)、濰坊市坊子區(qū)、郴州市永興縣、福州市永泰縣
金華市義烏市、昆明市嵩明縣、東莞市厚街鎮(zhèn)、宜昌市長陽土家族自治縣、麗江市寧蒗彝族自治縣
郴州市臨武縣、武威市天祝藏族自治縣、信陽市新縣、深圳市福田區(qū)、佳木斯市樺川縣、大同市云岡區(qū)、寧德市福鼎市
茂名市化州市、銅仁市印江縣、衢州市常山縣、聊城市陽谷縣、三亞市崖州區(qū)、寶雞市千陽縣、臨汾市曲沃縣、黔東南從江縣、濰坊市安丘市、寧德市蕉城區(qū)
聊城市茌平區(qū)、屯昌縣西昌鎮(zhèn)、六安市金安區(qū)、鶴崗市蘿北縣、甘孜爐霍縣、文山西疇縣
萬寧市長豐鎮(zhèn)、海東市平安區(qū)、安慶市太湖縣、渭南市華州區(qū)、成都市大邑縣、湛江市霞山區(qū)、十堰市竹山縣、金華市武義縣、天津市寧河區(qū)
襄陽市谷城縣、佳木斯市富錦市、哈爾濱市通河縣、邵陽市隆回縣、駐馬店市新蔡縣、鐵嶺市清河區(qū)、哈爾濱市尚志市、濟南市濟陽區(qū)
巴中市通江縣、安康市嵐皋縣、涼山昭覺縣、襄陽市?？悼h、麗水市慶元縣、揭陽市榕城區(qū)、上饒市信州區(qū)、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗
岳陽市華容縣、東方市江邊鄉(xiāng)、七臺河市新興區(qū)、廣西柳州市柳城縣、廣西玉林市玉州區(qū)、黑河市愛輝區(qū)
牡丹江市寧安市、廣西河池市都安瑤族自治縣、天水市秦安縣、宜春市銅鼓縣、延邊圖們市、達州市宣漢縣
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、宜昌市猇亭區(qū)、臨沂市沂南縣、上海市普陀區(qū)、延安市黃龍縣、鞍山市鐵東區(qū)、九江市廬山市
定西市漳縣、寧夏中衛(wèi)市海原縣、涼山喜德縣、南京市六合區(qū)、上海市浦東新區(qū)
杭州市富陽區(qū)、安陽市文峰區(qū)、吉安市廬陵新區(qū)、泉州市德化縣、重慶市潼南區(qū)、三門峽市靈寶市、廣安市前鋒區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市伊金霍洛旗、新鄉(xiāng)市新鄉(xiāng)縣、恩施州建始縣
寧德市壽寧縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、荊州市松滋市、廣西崇左市寧明縣、昆明市尋甸回族彝族自治縣、平頂山市寶豐縣、丹東市東港市、汕頭市潮南區(qū)、銅陵市樅陽縣、遼陽市白塔區(qū)
黔南獨山縣、運城市聞喜縣、漢中市洋縣、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、開封市尉氏縣
濱州市濱城區(qū)、揭陽市揭東區(qū)、阜新市細(xì)河區(qū)、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、寧夏銀川市金鳳區(qū)
西安市藍田縣、文山文山市、臨高縣博厚鎮(zhèn)、黔南羅甸縣、三明市泰寧縣
白銀市平川區(qū)、廣西桂林市興安縣、安慶市宜秀區(qū)、廣安市岳池縣、安陽市殷都區(qū)、廣西桂林市疊彩區(qū)、懷化市通道侗族自治縣、廣西柳州市城中區(qū)、太原市小店區(qū)、普洱市景谷傣族彝族自治縣
齊齊哈爾市訥河市、陵水黎族自治縣群英鄉(xiāng)、安陽市湯陰縣、雞西市雞冠區(qū)、哈爾濱市五常市、廣西南寧市武鳴區(qū)、中山市西區(qū)街道、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗
東莞市橋頭鎮(zhèn)、徐州市新沂市、玉溪市通?？h、漢中市城固縣、泰州市高港區(qū)、南充市閬中市、涼山會理市、上海市徐匯區(qū)
焦作市博愛縣、福州市晉安區(qū)、淮安市金湖縣、吉安市廬陵新區(qū)、湛江市雷州市、隨州市廣水市、茂名市信宜市、咸寧市赤壁市、黃石市黃石港區(qū)
嘉峪關(guān)市新城鎮(zhèn)、懷化市會同縣、上饒市信州區(qū)、張掖市臨澤縣、運城市臨猗縣、玉樹曲麻萊縣、德陽市旌陽區(qū)、信陽市羅山縣
大慶市林甸縣、天水市張家川回族自治縣、運城市稷山縣、棗莊市薛城區(qū)、文昌市文教鎮(zhèn)、廣西桂林市靈川縣、寧夏吳忠市青銅峽市、榆林市子洲縣、六安市裕安區(qū)、濱州市陽信縣
五指山市水滿、海西蒙古族都蘭縣、隴南市西和縣、葫蘆島市綏中縣、新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、懷化市會同縣、漯河市臨潁縣、徐州市邳州市、蘇州市昆山市
麗江市玉龍納西族自治縣、新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、澄邁縣老城鎮(zhèn)、資陽市雁江區(qū)、懷化市沅陵縣、廣西百色市隆林各族自治縣
忻州市五寨縣、永州市零陵區(qū)、中山市黃圃鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗、郴州市安仁縣、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、鹽城市響水縣、廣安市鄰水縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗
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鶴崗市綏濱縣、泉州市鯉城區(qū)、滁州市鳳陽縣、平頂山市舞鋼市、達州市宣漢縣
漳州市龍文區(qū)、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、金華市浦江縣、重慶市合川區(qū)、黔東南黃平縣、廣西河池市巴馬瑤族自治縣、臨汾市吉縣、臨沂市平邑縣、九江市都昌縣、陽江市陽東區(qū)
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海口市瓊山區(qū)、伊春市豐林縣、渭南市合陽縣、通化市集安市、吉安市遂川縣
漢中市略陽縣、深圳市羅湖區(qū)、哈爾濱市道外區(qū)、晉城市陵川縣、成都市青白江區(qū)、陽江市江城區(qū)、寧夏中衛(wèi)市海原縣、鷹潭市貴溪市、甘南瑪曲縣
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煙臺市萊陽市、開封市順河回族區(qū)、濮陽市范縣、鶴崗市東山區(qū)、安慶市宜秀區(qū)、鐵嶺市調(diào)兵山市、渭南市大荔縣
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龍巖市武平縣、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、上饒市鄱陽縣、廣西桂林市永?？h、廣西南寧市邕寧區(qū)、懷化市芷江侗族自治縣、南平市順昌縣、牡丹江市林口縣
安康市寧陜縣、東莞市黃江鎮(zhèn)、溫州市永嘉縣、萬寧市南橋鎮(zhèn)、宜春市袁州區(qū)
天水市清水縣、武漢市黃陂區(qū)、佛山市順德區(qū)、南京市雨花臺區(qū)、黃石市黃石港區(qū)、太原市清徐縣
六盤水市盤州市、日照市莒縣、黃山市祁門縣、岳陽市湘陰縣、撫州市崇仁縣
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岳陽市華容縣、中山市南頭鎮(zhèn)、普洱市景東彝族自治縣、廣西賀州市鐘山縣、呂梁市石樓縣、自貢市沿灘區(qū)、楚雄大姚縣、太原市迎澤區(qū)
曲靖市陸良縣、濰坊市諸城市、昭通市彝良縣、銅川市印臺區(qū)、韶關(guān)市樂昌市、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)、商洛市柞水縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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