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新鄉(xiāng)市輝縣市、齊齊哈爾市泰來(lái)縣、煙臺(tái)市棲霞市、南京市棲霞區(qū)、內(nèi)江市市中區(qū)、南平市光澤縣、洛陽(yáng)市洛寧縣、廣西玉林市玉州區(qū)、運(yùn)城市稷山縣
阿壩藏族羌族自治州紅原縣、贛州市瑞金市、哈爾濱市通河縣、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、寧德市壽寧縣、商丘市夏邑縣、上饒市玉山縣
西雙版納勐海縣、恩施州建始縣、岳陽(yáng)市湘陰縣、河源市和平縣、廈門市湖里區(qū)、撫州市樂(lè)安縣、南陽(yáng)市淅川縣、文山廣南縣、廣安市武勝縣
臨沂市蒙陰縣、西安市灞橋區(qū)、合肥市瑤海區(qū)、臨汾市安澤縣、江門市江海區(qū)、常德市津市市、黃南河南蒙古族自治縣、屯昌縣西昌鎮(zhèn)、黃岡市麻城市、商洛市洛南縣
三門峽市湖濱區(qū)、廣西玉林市興業(yè)縣、清遠(yuǎn)市連州市、重慶市忠縣、蚌埠市淮上區(qū)、巴中市南江縣、成都市金牛區(qū)、忻州市寧武縣
平?jīng)鍪袥艽h、重慶市涪陵區(qū)、玉溪市新平彝族傣族自治縣、衡陽(yáng)市衡陽(yáng)縣、吉安市峽江縣、海南貴德縣、忻州市偏關(guān)縣
廣西玉林市博白縣、東方市板橋鎮(zhèn)、遵義市仁懷市、麗水市蓮都區(qū)、郴州市嘉禾縣
昭通市綏江縣、南昌市進(jìn)賢縣、忻州市靜樂(lè)縣、青島市即墨區(qū)、新鄉(xiāng)市延津縣、廣西貴港市桂平市、株洲市茶陵縣
定西市岷縣、濱州市博興縣、丹東市鳳城市、大興安嶺地區(qū)漠河市、黃石市陽(yáng)新縣、六盤水市六枝特區(qū)、定西市漳縣、大理南澗彝族自治縣、甘孜德格縣
衡陽(yáng)市衡南縣、渭南市韓城市、嘉峪關(guān)市新城鎮(zhèn)、梅州市大埔縣、廣西桂林市象山區(qū)、雙鴨山市尖山區(qū)、德州市陵城區(qū)、東莞市望牛墩鎮(zhèn)
濟(jì)寧市鄒城市、臨夏和政縣、馬鞍山市花山區(qū)、雞西市城子河區(qū)、吉林市樺甸市
云浮市郁南縣、寶雞市麟游縣、廣西柳州市魚峰區(qū)、濟(jì)寧市兗州區(qū)、撫州市宜黃縣、梅州市梅江區(qū)
哈爾濱市延壽縣、商丘市梁園區(qū)、濰坊市高密市、宜春市樟樹市、杭州市建德市
昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、青島市市北區(qū)、懷化市會(huì)同縣、臺(tái)州市溫嶺市、遼陽(yáng)市遼陽(yáng)縣、廣西桂林市象山區(qū)、南陽(yáng)市南召縣、揚(yáng)州市高郵市
雞西市麻山區(qū)、武漢市漢南區(qū)、張家界市武陵源區(qū)、廣西百色市平果市、西安市臨潼區(qū)、眉山市洪雅縣、郴州市安仁縣、邵陽(yáng)市雙清區(qū)、忻州市保德縣
南昌市進(jìn)賢縣、珠海市香洲區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市、陽(yáng)泉市城區(qū)、梅州市梅縣區(qū)、涼山鹽源縣、三明市明溪縣
天水市張家川回族自治縣、泉州市安溪縣、麗水市景寧畬族自治縣、安陽(yáng)市殷都區(qū)、通化市二道江區(qū)、鹽城市大豐區(qū)、寧夏銀川市靈武市、長(zhǎng)治市潞城區(qū)
葫蘆島市綏中縣、煙臺(tái)市蓬萊區(qū)、南陽(yáng)市內(nèi)鄉(xiāng)縣、吉安市峽江縣、文昌市東路鎮(zhèn)、北京市海淀區(qū)、大理賓川縣、涼山鹽源縣
南充市順慶區(qū)、鄭州市登封市、廣西河池市東蘭縣、徐州市睢寧縣、綏化市綏棱縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、新鄉(xiāng)市新鄉(xiāng)縣、泰安市泰山區(qū)、大理永平縣、廣西賀州市平桂區(qū)
成都市大邑縣、雙鴨山市友誼縣、文昌市翁田鎮(zhèn)、儋州市東成鎮(zhèn)、臨高縣新盈鎮(zhèn)、嘉興市海寧市、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)縣、衢州市衢江區(qū)、昆明市石林彝族自治縣
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楚雄牟定縣、佳木斯市富錦市、商洛市丹鳳縣、定西市臨洮縣、宜春市萬(wàn)載縣、聊城市東昌府區(qū)、安慶市桐城市、長(zhǎng)沙市望城區(qū)、涼山冕寧縣
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商丘市虞城縣、揭陽(yáng)市榕城區(qū)、長(zhǎng)治市壺關(guān)縣、昌江黎族自治縣十月田鎮(zhèn)、益陽(yáng)市安化縣
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棗莊市市中區(qū)、東莞市麻涌鎮(zhèn)、大慶市龍鳳區(qū)、濰坊市寒亭區(qū)、臺(tái)州市溫嶺市
東方市八所鎮(zhèn)、深圳市光明區(qū)、聊城市東昌府區(qū)、中山市小欖鎮(zhèn)、佳木斯市同江市、寧夏銀川市賀蘭縣、白山市渾江區(qū)、鄭州市新鄭市
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東莞市道滘鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、廣西百色市右江區(qū)、哈爾濱市巴彥縣、株洲市茶陵縣、益陽(yáng)市沅江市
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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