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甘孜九龍縣、黔南羅甸縣、哈爾濱市雙城區(qū)、海西蒙古族德令哈市、咸寧市崇陽縣
大慶市肇州縣、黔東南臺(tái)江縣、漢中市留壩縣、蘭州市永登縣、蚌埠市龍子湖區(qū)、貴陽市開陽縣
湛江市霞山區(qū)、商丘市寧陵縣、天津市北辰區(qū)、東莞市橫瀝鎮(zhèn)、滁州市瑯琊區(qū)、佳木斯市同江市、內(nèi)蒙古烏蘭察布市涼城縣、漢中市佛坪縣
萬寧市禮紀(jì)鎮(zhèn)、德州市陵城區(qū)、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、定西市通渭縣、蘇州市姑蘇區(qū)、甘孜石渠縣、襄陽市樊城區(qū)
咸陽市乾縣、長春市寬城區(qū)、萬寧市三更羅鎮(zhèn)、果洛瑪多縣、運(yùn)城市聞喜縣、雞西市雞冠區(qū)、遼源市龍山區(qū)、中山市阜沙鎮(zhèn)、澄邁縣中興鎮(zhèn)、忻州市繁峙縣
佛山市南海區(qū)、上海市浦東新區(qū)、六盤水市鐘山區(qū)、肇慶市端州區(qū)、遵義市余慶縣
遵義市赤水市、寧夏中衛(wèi)市沙坡頭區(qū)、衡陽市常寧市、甘南碌曲縣、南昌市灣里區(qū)、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣
遂寧市安居區(qū)、榆林市神木市、寶雞市麟游縣、廣西桂林市資源縣、屯昌縣楓木鎮(zhèn)、德州市臨邑縣、廣西桂林市平樂縣、揚(yáng)州市高郵市
德州市德城區(qū)、常德市津市市、運(yùn)城市臨猗縣、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、莆田市秀嶼區(qū)、岳陽市汨羅市、銅陵市郊區(qū)、屯昌縣坡心鎮(zhèn)
江門市臺(tái)山市、文昌市潭牛鎮(zhèn)、大理祥云縣、廣西南寧市邕寧區(qū)、金華市金東區(qū)、廣西柳州市城中區(qū)、延安市延川縣、黑河市五大連池市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)、鞍山市臺(tái)安縣
畢節(jié)市納雍縣、臨汾市安澤縣、達(dá)州市通川區(qū)、西寧市城中區(qū)、龍巖市新羅區(qū)、牡丹江市陽明區(qū)、廣西崇左市大新縣
莆田市城廂區(qū)、撫順市望花區(qū)、宿遷市宿豫區(qū)、許昌市襄城縣、昆明市尋甸回族彝族自治縣、蘇州市張家港市、商洛市鎮(zhèn)安縣、哈爾濱市道外區(qū)、婁底市漣源市
黃岡市浠水縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、韶關(guān)市湞江區(qū)、南昌市青云譜區(qū)、文昌市公坡鎮(zhèn)
渭南市華陰市、武漢市青山區(qū)、泉州市洛江區(qū)、天津市東麗區(qū)、安慶市岳西縣、清遠(yuǎn)市清新區(qū)、盤錦市興隆臺(tái)區(qū)、成都市崇州市
西雙版納勐臘縣、宜昌市伍家崗區(qū)、鶴壁市山城區(qū)、德州市樂陵市、安康市鎮(zhèn)坪縣、雞西市虎林市、廣西桂林市七星區(qū)、儋州市白馬井鎮(zhèn)、漳州市龍海區(qū)
儋州市和慶鎮(zhèn)、樂東黎族自治縣鶯歌海鎮(zhèn)、鶴崗市向陽區(qū)、臨高縣和舍鎮(zhèn)、贛州市章貢區(qū)、滁州市南譙區(qū)、德州市禹城市、瓊海市龍江鎮(zhèn)
撫順市新賓滿族自治縣、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、廣西崇左市天等縣、渭南市合陽縣、淮南市潘集區(qū)、臨汾市安澤縣、福州市長樂區(qū)、萬寧市東澳鎮(zhèn)
駐馬店市驛城區(qū)、江門市江海區(qū)、慶陽市寧縣、贛州市龍南市、忻州市代縣、甘孜瀘定縣
文昌市潭牛鎮(zhèn)、甘孜色達(dá)縣、普洱市景東彝族自治縣、晉中市左權(quán)縣、哈爾濱市阿城區(qū)、茂名市電白區(qū)、阜新市彰武縣、廣元市旺蒼縣、蕪湖市南陵縣
黃岡市黃州區(qū)、成都市武侯區(qū)、廣州市荔灣區(qū)、遵義市仁懷市、天津市武清區(qū)
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、大慶市肇源縣、萬寧市東澳鎮(zhèn)、齊齊哈爾市龍江縣、安陽市文峰區(qū)、徐州市新沂市、十堰市房縣、吉安市遂川縣、益陽市南縣
朝陽市北票市、吉林市昌邑區(qū)、延安市宜川縣、黃岡市英山縣、盤錦市雙臺(tái)子區(qū)
武漢市東西湖區(qū)、泉州市安溪縣、延安市洛川縣、成都市雙流區(qū)、濱州市陽信縣、鐵嶺市昌圖縣、福州市閩清縣、廣西玉林市興業(yè)縣、溫州市鹿城區(qū)、商丘市民權(quán)縣
麗江市玉龍納西族自治縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗、巴中市平昌縣、廣西南寧市良慶區(qū)、紹興市越城區(qū)、忻州市保德縣、長沙市開福區(qū)、臨高縣新盈鎮(zhèn)、西安市雁塔區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市
淮南市大通區(qū)、大慶市紅崗區(qū)、邵陽市綏寧縣、鎮(zhèn)江市丹陽市、洛陽市洛寧縣、呂梁市交城縣、威海市乳山市
荊州市洪湖市、周口市鄲城縣、周口市商水縣、江門市江海區(qū)、平頂山市寶豐縣、黔南三都水族自治縣
益陽市安化縣、蘭州市永登縣、溫州市甌海區(qū)、廣西百色市平果市、鶴崗市興山區(qū)
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常州市金壇區(qū)、株洲市炎陵縣、瓊海市龍江鎮(zhèn)、佳木斯市樺川縣、滁州市定遠(yuǎn)縣、長治市壺關(guān)縣、哈爾濱市延壽縣、綿陽市安州區(qū)、鐵嶺市銀州區(qū)
泰安市肥城市、淮安市洪澤區(qū)、成都市金牛區(qū)、廣西百色市平果市、咸陽市楊陵區(qū)、周口市鹿邑縣、濰坊市坊子區(qū)、寧德市柘榮縣
南陽市桐柏縣、?？谑旋埲A區(qū)、廣西崇左市江州區(qū)、西安市新城區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、溫州市平陽縣、常德市桃源縣、黔東南丹寨縣
定西市岷縣、泉州市洛江區(qū)、儋州市那大鎮(zhèn)、麗江市古城區(qū)、德陽市廣漢市、廈門市湖里區(qū)、張掖市山丹縣、北京市門頭溝區(qū)、上饒市余干縣、開封市蘭考縣
杭州市桐廬縣、資陽市安岳縣、晉中市平遙縣、曲靖市馬龍區(qū)、果洛久治縣、麗水市松陽縣、銅仁市思南縣、焦作市馬村區(qū)
澄邁縣中興鎮(zhèn)、鹽城市東臺(tái)市、煙臺(tái)市萊州市、臨汾市鄉(xiāng)寧縣、深圳市坪山區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市額爾古納市、昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)、新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)、上饒市玉山縣
吉林市蛟河市、青島市膠州市、廣西崇左市江州區(qū)、黔南惠水縣、甘孜康定市
內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)、雞西市密山市、儋州市海頭鎮(zhèn)、懷化市麻陽苗族自治縣、贛州市尋烏縣、滁州市全椒縣、福州市長樂區(qū)
營口市西市區(qū)、河源市東源縣、宜賓市南溪區(qū)、東莞市萬江街道、甘孜色達(dá)縣、益陽市資陽區(qū)、廣西百色市德保縣、成都市新都區(qū)、郴州市永興縣
紹興市柯橋區(qū)、廣元市昭化區(qū)、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、曲靖市沾益區(qū)、鞍山市鐵西區(qū)、咸陽市彬州市、臨沂市沂水縣
荊州市監(jiān)利市、通化市柳河縣、廣州市南沙區(qū)、深圳市龍華區(qū)、嘉峪關(guān)市新城鎮(zhèn)、安康市漢濱區(qū)、大理南澗彝族自治縣、臨沂市臨沭縣
恩施州恩施市、涼山西昌市、定安縣龍門鎮(zhèn)、文昌市蓬萊鎮(zhèn)、廣西北海市銀海區(qū)
福州市閩侯縣、開封市鼓樓區(qū)、永州市道縣、忻州市忻府區(qū)、連云港市海州區(qū)、廣西賀州市八步區(qū)、本溪市明山區(qū)
惠州市惠陽區(qū)、海南同德縣、江門市臺(tái)山市、九江市共青城市、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、麗水市云和縣、武漢市硚口區(qū)
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潮州市湘橋區(qū)、廣州市花都區(qū)、海東市民和回族土族自治縣、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、涼山越西縣、西安市鄠邑區(qū)
紅河元陽縣、廣安市岳池縣、梅州市蕉嶺縣、三明市永安市、武威市涼州區(qū)
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宣城市廣德市、文昌市翁田鎮(zhèn)、文昌市公坡鎮(zhèn)、鶴壁市?？h、海南興?？h、邵陽市雙清區(qū)
張家界市桑植縣、東莞市東城街道、青島市李滄區(qū)、哈爾濱市阿城區(qū)、重慶市榮昌區(qū)、惠州市惠陽區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗
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遵義市湄潭縣、廣州市白云區(qū)、安康市石泉縣、內(nèi)蒙古包頭市固陽縣、榆林市佳縣、臨沂市平邑縣
東方市新龍鎮(zhèn)、益陽市桃江縣、白山市臨江市、昆明市晉寧區(qū)、寶雞市金臺(tái)區(qū)、天水市甘谷縣、海西蒙古族茫崖市、西寧市城西區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市五原縣
大慶市大同區(qū)、北京市豐臺(tái)區(qū)、澄邁縣中興鎮(zhèn)、黃岡市團(tuán)風(fēng)縣、萍鄉(xiāng)市蘆溪縣、甘孜得榮縣、伊春市湯旺縣、東方市板橋鎮(zhèn)、錦州市義縣
白城市鎮(zhèn)賚縣、商丘市寧陵縣、畢節(jié)市金沙縣、佳木斯市向陽區(qū)、贛州市興國縣、武漢市黃陂區(qū)
樂東黎族自治縣鶯歌海鎮(zhèn)、廣西北海市合浦縣、安慶市宿松縣、金華市義烏市、阿壩藏族羌族自治州壤塘縣、菏澤市巨野縣、新余市分宜縣
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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